糖ユニットを主体とした環境調和型フォトポリマーによる微細加工レジスト

使用基于糖单元的环保光聚合物的微加工抗蚀剂

• 批准号: 17750188
• 负责人: 宮川 信一
• 金额: $ 2.37万
• 依托单位: Chiba University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2005
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2005 至 2006
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-17750188/
• 关键词: フォトポリマー; フォトレジスト; 環境調和; 水塗布・水現; ヒドロキシプロピルキトサン; 水塗布; 環境調和型材料

整髪料や化粧品等に保湿剤として用いられていることからも人体に安全であると考えられる天然物誘導体である水溶性ポリマー、ヒドロキシプロピルキトサン(キトサンは蟹等の甲羅の主成分であるキチンの加水分解生成物)をベースポリマーとして用いて、これに光酸発生剤および架橋剤を添加することでフォトポリマーを調製した。このベースポリマーが有するアミノ基を利用し、架橋剤との架橋反応により水溶性である状態から不溶化させることで像形成をし、水塗布・水現像型の環境調和型フォトレジスト(ネガ型)として応用することが出来た。また、これらフォトポリマーの組成の最適化を行った。このフォトポリマーは砂目立てしたアルミ基板の様な表面の粗い基板に対しては比較的良好な接着性を示したが、Siウエハー、ガラス基板など表面の滑らかな基板に対する密着性は低く、また感光液粘度が比較的高いことから塗布が難しいという問題点が判明した。基板表面の化学的な修飾による表面処理を施すことによって若干の改善をみたが、おもな原因はベースポリマーの分子量が大きいこととポリマー自体の膨潤性に起因するものと考えた。膨潤性に関しては、ポリマー自体の構造に由来するため改善は困難であるため、ベースポリマーの分子量を化学的な加水分解によって低下することを試みた結果、分子量分布のコントロールはできなかったが、低分子量化に成功(分子量分布は広がった)、若干ではあるが塗布性の向上を図ることができた。

羟丙基壳聚糖（壳聚糖是甲壳素的衍生物，甲壳素是蟹壳等的主要成分）是一种水溶性聚合物，被认为对人体安全，因为它被用作发制品和化妆品中的保湿剂。通过向基础聚合物（水解产物）中添加光酸产生剂和交联剂来制备光聚合物。利用该基础聚合物的氨基，通过与交联剂的交联反应，使水溶性状态变为不溶化，从而形成图像，用作水涂布/水显影型环保光致抗蚀剂（负型）语气）我能够应用它。我们还优化了这些光聚合物的成分。尽管这种光聚合物对具有粗糙表面的基材（例如粒状铝基材）表现出相对良好的粘合性，但它对具有光滑表面的基材（例如硅晶片和玻璃基材）的粘合性较差，并且发现问题是难以应用，因为液体粘度相对较高。通过对基材表面进行化学改性，观察到了轻微的改善，但主要原因被认为是由于基础聚合物的大分子量和聚合物本身的溶胀性能。关于溶胀性，由于其源于聚合物本身的结构，因此很难改善。因此，我们尝试通过化学水解来降低基础聚合物的分子量，但无法控制分子量分布我们成功地提高了分子量（分子量分布变宽），并且能够改善涂层性能，尽管略有改善。