加工Si基板上への非極性面GaNの選択MOVPE成長に関する研究
加工硅衬底上选择性MOVPE生长非极性面GaN的研究
基本信息
- 批准号:10J08362
- 负责人:
- 金额:$ 0.9万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for JSPS Fellows
- 财政年份:2010
- 资助国家:日本
- 起止时间:2010 至 2011
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
10^6cm^<-2>以下となる半極性(1-101)GaN/Siストライプを作製し、その上に発光波長が青色(λ=422nm)から緑色(λ=540nm)のInGaN/GaN多重量子井戸を作製し、PLによって内部量子効率の評価を行った。下地結晶の高品質を反映し、輻射再結合が支配的となる優れた発光特性を有していた。内部量子効率は青色で90%以上と高い値を示した。しかしながら発光波長が長波長になるにつれて内部量子効率の低下が見られた。断面TEM解析およびXRD測定から、InGaN中のIn組成が高くなると量子井戸程度の幅で格子緩和し、積層欠陥が導入されることが分かった。また導波路構造を作製し、波長420nmにおいてシリコン基板上としては世界初の誘導放出高を得た。しかしながら緑色では誘導放出光は得られず、格子緩和による欠陥が影響しているものと思われる。そこで発光層における格子緩和を回避すべく下地層をGaNからInGaNに変更することを提案した。従来の(0001)面上にInGaNを厚く成長した場合、表面は{1-101}ファセットで構成されたピットにより平坦な面を得られなかった。一方で半極性(1-101)GaNを下地層として用いると、厚膜を成長しても表面にはピットは見られず平坦性に優れた結晶であることが分かった。このInGaNに対しXRD測定とAFM測定により成長過程の詳細な解析を行った。半極性面上のInGaNはまず初めにc軸方向にチルトを伴う格子緩和を生じ、次いでa軸方向に格子定数が増大する二段階の過程であることが分かった。表面は格子緩和時に三角形状のグレイン構造を形成するが、膜厚の増大に伴いグレインサイズが大きくなる、平坦化プロセスを確認した。今後、半極性InGaN中の転位や積層欠陥の発生・消滅機構を明らかにすることで高品質InGaN結晶および高効率緑色発光素子の実現が期待できる。
制备了发射波长小于10^6cm^<-2>的半极(1-101)GAN/SI条纹,并制备了蓝色(λ= 422nm)的INGAN/GAN多量子孔,并通过PL评估了蓝色(λ= 422nm)的光(λ= 422nm)的光(λ= 422nm)。它具有出色的发光特性,反映了基础晶体的高质量,并由辐射重组主导。内部量子效率高蓝色,为90%或以上。但是,随着发射波长达到更长的波长,观察到内部量子效率。横截面TEM分析和XRD测量结果表明,当Ingan中的组成增加时,晶格松弛会在量子井的宽度上发生,并引入堆叠缺陷。还制造了波导结构,并在420 nm的波长下制造,这是世界上第一个刺激硅基板上的发射高度。但是,在绿色中,未获得刺激的发射光,看来由晶格松弛引起的缺陷有效。因此,有人提议将卧式从gan更改为Ingan,以避免发光层中的晶格松弛。当Ingan在常规(0001)表面上厚实生长时,表面未通过{1-101}刻面部组成的凹坑获得。另一方面,当将半极(1-101)gan用作卧式时,即使较厚的膜种植,在地面上也找不到凹坑,并且晶体具有出色的平坦度。使用XRD和AFM测量对INGAN进行了对生长过程的详细分析。发现半极性表面的Ingan是一个两步过程,其中首先在C轴方向上产生晶格松弛,然后在A轴方向上增加晶格常数。当晶格松弛时,表面形成三角形晶粒结构,但是确认了平面化过程,其中晶粒尺寸随着膜厚度的增加而增加。将来,可以通过澄清出现和消失的脱位和堆叠缺陷的机制来实现高质量的Ingan晶体和高效绿色发光设备。
项目成果
期刊论文数量(0)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
Effect of lateral vapor phase diffusion during the selective growth of InGaN/GaN MQW on semipolar and nonpolar GaN stripes
InGaN/GaN MQW 在半极性和非极性 GaN 条带上选择性生长过程中横向气相扩散的影响
- DOI:
- 发表时间:2011
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:T.Tanikawa;Y.Honda;M.Yamaguchi;H.Amano
- 通讯作者:H.Amano
AlN/GaN多層膜反射鏡の高反射率化
高反射率的AlN/GaN多层反射器
- DOI:
- 发表时间:2011
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:矢木 康太;加賀 充;山下 浩司;竹田 健一郎;谷川 智之;岩谷 素顕;竹内 哲也;上山 智;赤崎 勇;天野 浩
- 通讯作者:天野 浩
Lattice relaxation in semipolar (1-101) InGaN/GaN on silicon substrates
硅衬底上半极性 (1-101) InGaN/GaN 的晶格弛豫
- DOI:
- 发表时间:2011
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:T.Tanikawa;S.Sakakura;Y.Honda;M.Yamaguchi;H.Amano
- 通讯作者:H.Amano
HVPE成長を用いた微細加工Si基板上半極性GaN自立基板の作製
使用 HVPE 生长在微加工 Si 衬底上制造半极性 GaN 自支撑衬底
- DOI:
- 发表时间:2011
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:平林了;光成正;谷川智之;本田善央;山口雅史;天野浩
- 通讯作者:天野浩
加工Si基板上(1-101)InGaN/GaN MQWストライプの偏光特性
加工后的 Si 衬底上 (1-101)InGaN/GaN MQW 条带的偏振特性
- DOI:
- 发表时间:2011
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:久志本真希;谷川智之;本田善央;山口雅史;天野浩
- 通讯作者:天野浩
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谷川 智之其他文献
既設道路橋床版から切り出したRCはりの曲げ破壊挙動
从现有公路桥面板切下的 RC 梁的弯曲破坏行为
- DOI:
- 发表时间:20212021
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:本田 啓人;梅田 颯志;正直 花奈子;三宅 秀人;上向井 正裕;谷川 智之;片山 竜二;芦澤那南;Hiroki Motoyama;中村拓郎, 金澤健, 坂口淳一, 安中新太郎本田 啓人;梅田 颯志;正直 花奈子;三宅 秀人;上向井 正裕;谷川 智之;片山 竜二;芦澤那南;Hiroki Motoyama;中村拓郎, 金澤健, 坂口淳一, 安中新太郎
- 通讯作者:中村拓郎, 金澤健, 坂口淳一, 安中新太郎中村拓郎, 金澤健, 坂口淳一, 安中新太郎
Bonding Strength of Polarity-Inverted GaN Structure Fabricated by Surface-Activated Bonding
表面激活键合制备的极性反转GaN结构的键合强度
- DOI:
- 发表时间:20192019
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:山内 あさひ;小松 天太;池田 和久;上杉 謙二郎;正直 花奈子;三宅 秀人;彦坂 年輝;布上 真也;森川 隆哉;藤原 康文;上向井 正裕;谷川 智之;片山 竜二;M. Uemukai,S. Yamaguchi,A. Yamauchi,D. Tazuke,A. Higuchi,R. Tanabe,T. Tanikawa,T. Hikosaka,S. Nunoue,Y. Hayashi,H. Miyake,Y. Fujiwara and R. Katayama;Y. Morioka,M. Uemukai,T. Tanikawa,K. Uesugi,K. Shojiki,H. Miyake2,T. Morikawa,Y. Fujiwara and R. Katayama;T. Komatsu,R. Noro,M. Uemukai,T. Tanikawa and R. Katayama;D. Tazuke,A. Higuchi,T. Hikosaka,T. Oka,S. Nunoue,M. Uemukai,T .Tanikawa and R. Katayama;A. Higuchi,D. Tazuke,T. Hikosaka, T. Oka,S. Nunoue,M. Uemukai,T. Tanikawa and R. Katayama;T. Nagata,S. Umeda,T. Hikosaka,S. Nunoue,T. Morikawa,Y. Fujiwara,M. Uemukai,T. Tanikawa and R. Katayama;S. Umeda,T. Nagata,T. Hikosaka,S. Nuoue,T. Morikawa,Y. Fujiwara,M. Uemukai,T. Tanikawa and R. Katayama;Y. Morioka,M. Uemukai,K. Uesugi,K. Shojiki,H. Miyake,T. Morikawa,Y. Fujiwara,T. Tanikawa and R. Katayama;A. Yamauchi,T. Komatsu,K. Ikeda,K. Uesugi,K. Shojiki,H. Miyake,T. Hikosaka,S. Nunoue,T. Morikawa,Y. Fujiwara,M. Uemukai,T. Tanikawa and R. Katayama;Ryo Tanabe,Naoki Yokoyama,Masahiro Uemukai,Tomoyuki Tanikawa and Ryuji Katayama山内 あさひ;小松 天太;池田 和久;上杉 謙二郎;正直 花奈子;三宅 秀人;彦坂 年輝;布上 真也;森川 隆哉;藤原 康文;上向井 正裕;谷川 智之;片山 竜二;M. Uemukai,S. Yamaguchi,A. Yamauchi,D. Tazuke,A. Higuchi,R. Tanabe,T. Tanikawa,T. Hikosaka,S. Nunoue,Y. Hayashi,H. Miyake,Y. Fujiwara and R. Katayama;Y. Morioka,M. Uemukai,T. Tanikawa,K. Uesugi,K. Shojiki,H. Miyake2,T. Morikawa,Y. Fujiwara and R. Katayama;T. Komatsu,R. Noro,M. Uemukai,T. Tanikawa and R. Katayama;D. Tazuke,A. Higuchi,T. Hikosaka,T. Oka,S. Nunoue,M. Uemukai,T .Tanikawa and R. Katayama;A. Higuchi,D. Tazuke,T. Hikosaka, T. Oka,S. Nunoue,M. Uemukai,T. Tanikawa and R. Katayama;T. Nagata,S. Umeda,T. Hikosaka,S. Nunoue,T. Morikawa,Y. Fujiwara,M. Uemukai,T. Tanikawa and R. Katayama;S. Umeda,T. Nagata,T. Hikosaka,S. Nuoue,T. Morikawa,Y. Fujiwara,M. Uemukai,T. Tanikawa and R. Katayama;Y. Morioka,M. Uemukai,K. Uesugi,K. Shojiki,H. Miyake,T. Morikawa,Y. Fujiwara,T. Tanikawa and R. Katayama;A. Yamauchi,T. Komatsu,K. Ikeda,K. Uesugi,K. Shojiki,H. Miyake,T. Hikosaka,S. Nunoue,T. Morikawa,Y. Fujiwara,M. Uemukai,T. Tanikawa and R. Katayama;Ryo Tanabe,Naoki Yokoyama,Masahiro Uemukai,Tomoyuki Tanikawa and Ryuji Katayama
- 通讯作者:Ryo Tanabe,Naoki Yokoyama,Masahiro Uemukai,Tomoyuki Tanikawa and Ryuji KatayamaRyo Tanabe,Naoki Yokoyama,Masahiro Uemukai,Tomoyuki Tanikawa and Ryuji Katayama
Design of Deep Ultraviolet Second Harmonic Generation Device with Double-Layer PolarityInverted AlN Waveguide
双层极性倒置AlN波导深紫外二次谐波发生装置设计
- DOI:
- 发表时间:20192019
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:山内 あさひ;小松 天太;池田 和久;上杉 謙二郎;正直 花奈子;三宅 秀人;彦坂 年輝;布上 真也;森川 隆哉;藤原 康文;上向井 正裕;谷川 智之;片山 竜二;M. Uemukai,S. Yamaguchi,A. Yamauchi,D. Tazuke,A. Higuchi,R. Tanabe,T. Tanikawa,T. Hikosaka,S. Nunoue,Y. Hayashi,H. Miyake,Y. Fujiwara and R. Katayama;Y. Morioka,M. Uemukai,T. Tanikawa,K. Uesugi,K. Shojiki,H. Miyake2,T. Morikawa,Y. Fujiwara and R. Katayama;T. Komatsu,R. Noro,M. Uemukai,T. Tanikawa and R. Katayama;D. Tazuke,A. Higuchi,T. Hikosaka,T. Oka,S. Nunoue,M. Uemukai,T .Tanikawa and R. Katayama;A. Higuchi,D. Tazuke,T. Hikosaka, T. Oka,S. Nunoue,M. Uemukai,T. Tanikawa and R. Katayama;T. Nagata,S. Umeda,T. Hikosaka,S. Nunoue,T. Morikawa,Y. Fujiwara,M. Uemukai,T. Tanikawa and R. Katayama;S. Umeda,T. Nagata,T. Hikosaka,S. Nuoue,T. Morikawa,Y. Fujiwara,M. Uemukai,T. Tanikawa and R. Katayama;Y. Morioka,M. Uemukai,K. Uesugi,K. Shojiki,H. Miyake,T. Morikawa,Y. Fujiwara,T. Tanikawa and R. Katayama;A. Yamauchi,T. Komatsu,K. Ikeda,K. Uesugi,K. Shojiki,H. Miyake,T. Hikosaka,S. Nunoue,T. Morikawa,Y. Fujiwara,M. Uemukai,T. Tanikawa and R. Katayama;Ryo Tanabe,Naoki Yokoyama,Masahiro Uemukai,Tomoyuki Tanikawa and Ryuji Katayama;Takumi Nagata,Masahiro Uemukai,Toshiki Hikosaka,Shinya Nunoue,Takaya Morikawa,Yasufumi Fujiwara,Tomoyuki Tanikawa and Ryuji Katayama;Asahi Yamauchi,Tenta Komatsu,Kazuhisa Ikeda,Kenjiro Uesugi,Kanako Syojiki,Hideto Miyake,Toshiki Hikosaka,Sinya Nunoue,Takaya Morikawa,Yasufumi Fujiwara,Masahiro Uemukai,Tomoyuki Tanikawa and Ryuji Katayama山内 あさひ;小松 天太;池田 和久;上杉 謙二郎;正直 花奈子;三宅 秀人;彦坂 年輝;布上 真也;森川 隆哉;藤原 康文;上向井 正裕;谷川 智之;片山 竜二;M. Uemukai,S. Yamaguchi,A. Yamauchi,D. Tazuke,A. Higuchi,R. Tanabe,T. Tanikawa,T. Hikosaka,S. Nunoue,Y. Hayashi,H. Miyake,Y. Fujiwara and R. Katayama;Y. Morioka,M. Uemukai,T. Tanikawa,K. Uesugi,K. Shojiki,H. Miyake2,T. Morikawa,Y. Fujiwara and R. Katayama;T. Komatsu,R. Noro,M. Uemukai,T. Tanikawa and R. Katayama;D. Tazuke,A. Higuchi,T. Hikosaka,T. Oka,S. Nunoue,M. Uemukai,T .Tanikawa and R. Katayama;A. Higuchi,D. Tazuke,T. Hikosaka, T. Oka,S. Nunoue,M. Uemukai,T. Tanikawa and R. Katayama;T. Nagata,S. Umeda,T. Hikosaka,S. Nunoue,T. Morikawa,Y. Fujiwara,M. Uemukai,T. Tanikawa and R. Katayama;S. Umeda,T. Nagata,T. Hikosaka,S. Nuoue,T. Morikawa,Y. Fujiwara,M. Uemukai,T. Tanikawa and R. Katayama;Y. Morioka,M. Uemukai,K. Uesugi,K. Shojiki,H. Miyake,T. Morikawa,Y. Fujiwara,T. Tanikawa and R. Katayama;A. Yamauchi,T. Komatsu,K. Ikeda,K. Uesugi,K. Shojiki,H. Miyake,T. Hikosaka,S. Nunoue,T. Morikawa,Y. Fujiwara,M. Uemukai,T. Tanikawa and R. Katayama;Ryo Tanabe,Naoki Yokoyama,Masahiro Uemukai,Tomoyuki Tanikawa and Ryuji Katayama;Takumi Nagata,Masahiro Uemukai,Toshiki Hikosaka,Shinya Nunoue,Takaya Morikawa,Yasufumi Fujiwara,Tomoyuki Tanikawa and Ryuji Katayama;Asahi Yamauchi,Tenta Komatsu,Kazuhisa Ikeda,Kenjiro Uesugi,Kanako Syojiki,Hideto Miyake,Toshiki Hikosaka,Sinya Nunoue,Takaya Morikawa,Yasufumi Fujiwara,Masahiro Uemukai,Tomoyuki Tanikawa and Ryuji Katayama
- 通讯作者:Asahi Yamauchi,Tenta Komatsu,Kazuhisa Ikeda,Kenjiro Uesugi,Kanako Syojiki,Hideto Miyake,Toshiki Hikosaka,Sinya Nunoue,Takaya Morikawa,Yasufumi Fujiwara,Masahiro Uemukai,Tomoyuki Tanikawa and Ryuji KatayamaAsahi Yamauchi,Tenta Komatsu,Kazuhisa Ikeda,Kenjiro Uesugi,Kanako Syojiki,Hideto Miyake,Toshiki Hikosaka,Sinya Nunoue,Takaya Morikawa,Yasufumi Fujiwara,Masahiro Uemukai,Tomoyuki Tanikawa and Ryuji Katayama
230 nm遠紫外第二高調波発生に向けたHfO2/AlN横型擬似位相整合チャネル導波路の作製
用于230 nm深紫外二次谐波产生的HfO2/AlN横向准相位匹配通道波导的制造
- DOI:
- 发表时间:20222022
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:本田 啓人;俵 悠弥;藤原 康文;正直 花奈子;三宅 秀人;上向井 正裕;谷川 智之;片山 竜二本田 啓人;俵 悠弥;藤原 康文;正直 花奈子;三宅 秀人;上向井 正裕;谷川 智之;片山 竜二
- 通讯作者:片山 竜二片山 竜二
多層極性反転 AlN 構造を用いた横型 QPM 導波路の設計
采用多层极性反转AlN结构的横向QPM波导设计
- DOI:
- 发表时间:20232023
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:本田 啓人;百崎 怜;玉野 智大;正直 花奈子;三宅 秀人;上向井 正裕;谷川 智之;片山 竜二本田 啓人;百崎 怜;玉野 智大;正直 花奈子;三宅 秀人;上向井 正裕;谷川 智之;片山 竜二
- 通讯作者:片山 竜二片山 竜二
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相似国自然基金
面向高增益、高速、波长选择InGaN可见光探测器的缺陷抑制与增益结构研究
- 批准号:62305398
- 批准年份:2023
- 资助金额:30.00 万元
- 项目类别:青年科学基金项目
高密度高均匀性自组装InGaN量子点的可控生长及绿光量子点激光器研究
- 批准号:62304244
- 批准年份:2023
- 资助金额:30 万元
- 项目类别:青年科学基金项目
InGaN辐照缺陷的微观动力学行为及其对载流子性质影响研究
- 批准号:12305302
- 批准年份:2023
- 资助金额:30 万元
- 项目类别:青年科学基金项目
InGaN/GaN红光材料V坑缺陷主动调控机理与方法研究
- 批准号:62204239
- 批准年份:2022
- 资助金额:30.00 万元
- 项目类别:青年科学基金项目
基于高质量外延模板的InGaN基红光Micro-LED芯片研究
- 批准号:
- 批准年份:2022
- 资助金额:53 万元
- 项目类别:面上项目
相似海外基金
In-situ characterization of MOVPE growth dynamics and of diffusion mechanisms in nitrides and their influence on optoelectronic properties of InGaN/AlGaN/GaN quantum structures
MOVPE 生长动力学和氮化物扩散机制的原位表征及其对 InGaN/AlGaN/GaN 量子结构光电性能的影响
- 批准号:426532685426532685
- 财政年份:2019
- 资助金额:$ 0.9万$ 0.9万
- 项目类别:Research GrantsResearch Grants
LD fabrication on semipolar GaN/Si by induced pressure InGaN growth and strain control
通过诱导压力 InGaN 生长和应变控制在半极性 GaN/Si 上进行 LD 制造
- 批准号:2468604124686041
- 财政年份:2012
- 资助金额:$ 0.9万$ 0.9万
- 项目类别:Grant-in-Aid for Young Scientists (A)Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
Monolithic integration of multi-wavelength light emitter By vapor-diffusion-dominated selective-area growth
通过蒸汽扩散主导的选择性区域生长单片集成多波长光发射器
- 批准号:2068602220686022
- 财政年份:2008
- 资助金额:$ 0.9万$ 0.9万
- 项目类别:Grant-in-Aid for Young Scientists (A)Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
Optical property improvement of the semipolar GaN on Si by the reduction of stacking faults or point defects.
通过减少堆垛层错或点缺陷来改善 Si 上半极性 GaN 的光学性能。
- 批准号:2076001220760012
- 财政年份:2008
- 资助金额:$ 0.9万$ 0.9万
- 项目类别:Grant-in-Aid for Young Scientists (B)Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
加工Si基板上(1-101)及び(11-22)GaNへのInGaNヘテロ成長
加工后的 Si 衬底上 (1-101) 和 (11-22) GaN 上的 InGaN 异质生长
- 批准号:1903200519032005
- 财政年份:2007
- 资助金额:$ 0.9万$ 0.9万
- 项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority AreasGrant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas