Creation of next-generation nanocomposite films by establishment of differential pumping co-deposition technique

通过建立差动泵浦共沉积技术创建下一代纳米复合材料薄膜

基本信息

  • 批准号：
    21360359
  • 负责人：
    NOSE Masateru
  • 金额：
    $ 11.98万
  • 依托单位：
    University of Toyama
  • 依托单位国家：
    日本
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 财政年份：
    2009
  • 资助国家：
    日本
  • 起止时间：
    2009 至 2011
  • 项目状态：
    已结题

项目摘要

A differential pumping co-sputtering system(DPCS) was newly developed to facilitate a controlled, but flexible fabrication of multifunctional nanocomposite films with compositions not limited by thermodynamic restrictions. As for the hard coatings, new nanocomoposite films consisting of nitride(CrAlN or AlN) and oxide(Al_2O_3 and SiO_2) were prepared using DPCS. Furthermore, a new nanocomposite films consisting of CrAlN and alumina was obtained from CrAlN/BN films, which was prepared with conventional sputtering apparatus, by annealing in air. On the other hand, as for the functional film, multi layered CeO_2/Al films were successfully obtained without aluminum oxidation during sputtering deposition with DPCS
新开发的差分抽水共同输出系统（DPC）是为了促进受控但灵活地制造的多功能纳米复合膜，其成分不受热力学限制的限制。至于硬涂层，使用DPC制备了由氮化物（Craln或Aln）和氧化物（AL_2O_3和SIO_2）组成的新纳米植物材料膜。此外，通过在空气中退火，从Craln/bn膜中获得了一种由Craln/bn膜组成的新纳米复合膜，该膜是从Craln/bn膜中获得的，该膜是由常规溅射器制备的。另一方面，与功能膜一样，多层CEO_2/Al膜成功地获得了无铝氧化，在溅射在DPC中的溅射沉积过程中

项目成果

期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
差動排気型2元同時成膜装置により作製したCrAlN/酸化物ナノコンポジット膜の微細構造
采用差动泵双组分沉积系统制备 CrAlN/氧化物纳米复合薄膜的微观结构
  • DOI：
  • 发表时间：
    2011
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    高畠浩史,野瀬正照,松田健二;他4名
  • 通讯作者：
    他4名
RFバイアススパッタ法により作製したAl-O-N膜の構造と特性
射频偏压溅射法制备Al-O-N薄膜的结构与性能
  • DOI：
  • 发表时间：
    2010
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    野瀬正照、佐伯淳、松田健二、寺山清志、池野進;他3名
  • 通讯作者：
    他3名
Al-O-N膜の構造と特性に及ぼすスパッタ条件の影響
溅射条件对Al-O-N薄膜结构和性能的影响
  • DOI：
  • 发表时间：
    2009
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    野瀬正照、佐伯淳、松田健二、寺山清志、池野進;他3名
  • 通讯作者：
    他3名
Deposition of Novel Nanocomposite Films by a Newly Developed Differential Pumping Co-Sputtering System
通过新开发的差动泵浦共溅射系统沉积新型纳米复合薄膜
反応性2元同時スパッタ法で作製したCrAlN/BNコーティング膜の構造と機械的性質
反应双组分溅射法制备CrAlN/BN镀膜的结构与力学性能
  • DOI：
  • 发表时间：
    2009
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    野瀬正照、松田健二、池野進;他3名
  • 通讯作者：
    他3名
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