Ultrahigh-precision 3D-shape measurement technique usable under vertical vibration

可在垂直振动下使用的超高精度3D形状测量技术

• 批准号: 21360115
• 负责人: ADACHI Masaaki
• 金额: $ 12.15万
• 依托单位: Kanazawa University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2009
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2009 至 2011
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-21360115/
• 关键词: 光干渉; 3次元形状; 位相抽出; 振動; 高精度計測; 白色干渉; 振動環境下; レーザ; 干渉顕微鏡; FPGA; 制御; 変位計; 露光; 光路差変化; ナノメータ; 粗面; 高速ラインカメラ; 顕微鏡; NA

We have developed a new measurement technique for nm-level change of an optical-path-deference(OPD) using laser. This technique can measure OPD of a vertical-scan interference microscope real time and high speed. With the technique we can trigger LED flashings and interferogram exposures right after predefined phase changes even under vertical vibrations. Analyzing the measured 3D-shape obtained with the technique results in that affects of vibration during the exposure should be corrected for higher precision shape measurement. Then we have developed another technique which can extract interference phase just on the exposure-start moment from vibration-affected interferogram intensities and history of OPD changes during the exposure. Validity of the developed technique is proved by experiments using the vertical-scan interference microscope with intentionally generated pulse-like vibration.

我们开发了一种使用激光器的NM级变化（OPD）的新测量技术。该技术可以实时测量垂直扫描干扰显微镜的OPD。通过该技术，即使在垂直振动下，我们可以在预定义相变发生后立即触发LED闪光灯和干涉图接触。用技术在暴露期间影响振动的技术获得的测量的3D形，应纠正以获得更高的精度形状测量。然后，我们开发了另一种技术，该技术可以在暴露效果的干扰力强度和OPD变化的历史上从暴露阶段提取干扰阶段。通过使用垂直扫描干扰显微镜和有意生成的脉冲样振动的实验证明了开发技术的有效性。

项目成果

露光中の光路差変化情報を用いた低輝度光源干渉像からの位相抽出の高精度化

利用曝光过程中光程差变化信息提高低亮度光源干涉图像相位提取精度

• 发表时间: 2010
• 作者: 安達正明(他2名;3番目)
• 通讯作者: 3番目)

振動環境下で撮影された白色干渉像からの高精度形状計測

利用振动环境下拍摄的白色干涉图像进行高精度形状测量

• 发表时间: 2011
• 作者: 安達正明(他2名;3番目)
• 通讯作者: 3番目)

走査型干渉顕微鏡観察下の粗面の垂直変位測定,光アライアンス

扫描干涉显微镜下粗糙表面的垂直位移测量，光学联盟

• 发表时间: 2011
• 作者: 小田邦彦;小柳健一;古荘純次;安達正明
• 通讯作者: 安達正明

干渉顕微鏡観察下の粗面の垂直走査域100μmでの光路差変化の高精度測定

干涉显微镜下高精度测量粗糙表面100μm垂直扫描范围内的光程差变化

• 发表时间: 2010
• 期刊: 精密工学会誌
• 作者: 安達;河村;岩尾
• 通讯作者: 岩尾

振動環境でも利用できる垂直走査型光干渉応用形状計測技術

可应用于振动环境的垂直扫描光学干涉形状测量技术

• 发表时间: 2009
• 期刊: 精密工学会誌
• 作者: 安達正明(他3名;1番目)
• 通讯作者: 1番目)