Modellgestützte Analyse und Optimierung des dynamischen Verhaltens von Nanopositionier- und Nanomessmaschinen (Dynamik von NPM-Maschinen) (B01)

纳米定位和纳米测量机动态行为的基于模型的分析和优化(NPM 机动力学)(B01)

基本信息

  • 批准号:
    5378635
  • 负责人:
  • 金额:
    --
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    德国
  • 项目类别:
    Collaborative Research Centres
  • 财政年份:
    2002
  • 资助国家:
    德国
  • 起止时间:
    2001-12-31 至 2012-12-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

Das Teilprojekt B1 fokussiert sich auf die Realisierung von hochpräzisen Bewegungen in einem Bereich bis zu 450x450x80 mm³ mit einer Genauigkeit im nm-Bereich. Für die Entwicklung von Demonstratoren wurden mehrkörperdynamische Modelle computergestützt untersucht. Die Bewertung der Ergebnisse sowie die Modellanpassung mit dem Ziel einer Optimierung des Gesamtsystems erfolgten durch experimentelle Untersuchungen. Die zukünftigen Schwerpunkte liegen im Aufzeigen der aus mechanischer Sicht existierenden Grenzbereiche in der Dynamik für Posi­tioniervorgänge und der Untersuchung verkoppelter Positioniersysteme (modulare Strukturen) mit dem Ziel der Realisierung störungstoleranter Systeme.
450x450x80 mm³ mit einer Genauigkeit im nm-Bereich。下属。 der Undersuchung verkoppelter Positioniersysteme (modulare Strukturen) mit dem Ziel der Realisierung störungslerunger Systeme。

项目成果

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  • 作者:
  • 通讯作者:
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