Development of high-performance tribological coatings by means of plasma-based ion implantation and deposition process

通过等离子体离子注入和沉积工艺开发高性能摩擦涂层

• 批准号: 19560148
• 负责人: WATANABE Shuichi
• 金额: $ 2.58万
• 依托单位: Nippon Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2007
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2007 至 2009
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19560148/
• 关键词: 材料加工・処理; トライボロジー; 三次元イオン注入処理; 表面・界面物性; DLC; ナノコンポジット; 耐摩耗性; コーティング; 超格子積層

Plasma-based ion implantation (PBII) was utilized to prepare different elements including fluorine and sulfur-added DLC nano-composite films. The aim of this study was to compare the effects of element contents on the deposition and tribological properties of the films, especially to compare the friction coefficient and friction endurance, under a high vacuum environment. It was observed that S-DLC film demonstrates a considerable improvement in the tribological properties with the friction coefficient of 0.03 under a vacuum of 10^<-5>Pa.

利用等离子体离子注入（PBII）制备了包括氟和硫在内的不同元素的DLC纳米复合薄膜。本研究的目的是比较元素含量对薄膜沉积和摩擦学性能的影响，特别是比较高真空环境下的摩擦系数和摩擦耐久性。观察到S-DLC膜表现出摩擦学性能的显着改善，在10^-5Pa的真空下摩擦系数为0.03。

项目成果

真空中低摩擦特性を有するDLC膜形成の検討

真空中低摩擦特性DLC薄膜形成研究

• 发表时间: 2008
• 作者: 岡田英一;渡部修一;岩木雅宣
• 通讯作者: 岩木雅宣

DLC膜への元素添加による膜表面エネルギーの変化

DLC 薄膜中添加元素导致薄膜表面能的变化

• 发表时间: 2010
• 作者: 渡部修一;渡部修一;Shuichi Watanabe;渡部修一;Shuichi Watanabe;渡部 修一;渡部修一
• 通讯作者: 渡部修一

真空中低摩擦特性を有するDLC膜形成技術の検討

真空低摩擦DLC膜成膜技术研究

• 发表时间: 2008
• 作者: ナッタナンムルサラドゥ;アナックカンタチャワナ;岡田英一;渡部修一;渡部修一;渡部修一;渡部修一;渡部修一;渡部 修一
• 通讯作者: 渡部 修一

ESRによるDLC膜の構造解析

ESR 分析 DLC 薄膜的结构

• 发表时间: 2008
• 作者: ナッタナンムルサラドゥ;アナックカンタチャワナ;岡田英一;渡部修一;渡部修一
• 通讯作者: 渡部修一

DLCの応用技術-進化するダイヤモンドライクカーボンの産業応用と未来技術-

DLC应用技术 - 类金刚石碳不断发展的工业应用和未来技术 -

• 发表时间: 2007
• 作者: 岡田英一;渡部修一;岩木雅宣;渡部修一
• 通讯作者: 渡部修一