Study on Micro Diamond Tool with High Accuracy

高精度微型金刚石刀具的研究

• 批准号: 19560110
• 负责人: TAKANO Noboru
• 金额: $ 2.83万
• 依托单位: University of Toyama
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2007
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2007 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-19560110/
• 关键词: 極微細加工; マイクロダイヤモンド工具; 高精度化; ダイヤモンド工具; 集束イオンビーム; シリコンモールド; ダイヤモンドアレイ工具

本研究は、各種の極微細加工用の高精度ダイヤモンド工具の開発とマイクロ・ナノスケール加工への実用化を目的としている。まず、シリコンモールド作製技術と、ダイヤモンドCVD技術を駆使して、高精細のダイヤモンド切れ刃を作製し、それを工具シャンクに高強度で精度よく装着するマイクロ工具作製装置を構築した。また、作製したダイヤモンド工具の切れ刃形状を集束イオンビームにより変化させ、適切な工具形状について検討した。

这项研究旨在开发用于各种超细加工的高精度钻石工具，并在微纳米级加工中实际使用。首先，构建了一种微型工具制造设备，该设备使用硅模具制造技术和钻石CVD技术来制造高清钻石尖端，并将其连接到具有高强度和精确度的工具柄上。此外，通过使用聚焦离子束检查适当的工具形状，可以更改准备好的钻石工具的尖端形状。