Practical application research of large-scale ultra-precision stages driven by non-resonant type actuator for next-generation semiconductor manufacturing

下一代半导体制造用非谐振型执行器驱动的大型超精密平台的实际应用研究

• 批准号: 18760315
• 负责人: HASHIMOTO Seiji
• 金额: $ 2.48万
• 依托单位: Gunma University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
• 财政年份: 2006
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2006 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18760315/
• 关键词: 超精密ステージ; 非共振型超音波モータ; 可変構造制御; 適応同定; 駆動反力制御; 非線形摩擦; 予測制御; 可変構造制御法; 非線形摩擦補; 周波数可変制御法; 適応制御; 非線形摩擦補償

本研究の目的は、次世代半導体製造用の電子線露光に特化した超精密ステージシステムの開発とその実用化である。この目的に対して、駆動周波数可変制御法に基づくスリップフリー駆動法を提案し、ステージの高精度化とともに高耐久化を達成した。また,可変忘却要素を用いた適応同定法により,経年変化や動特性変化に対して適応的に最適性能を保持する制御系を実現した。同時に、ステージを搭載した反力制御装置付き6自由度アクティブ除振システムを構築し、制御帯域のみを設計パラメータとする同定と制御の統合化設計法を提案し、その有効性を実験により検証した。

本研究的目的是开发和实际应用专门用于下一代半导体制造的电子束曝光的超精密平台系统。为此，我们提出了一种基于变频驱动方法的无滑差驱动方法，实现了平台的高精度和耐用性。此外，通过使用可变遗忘元件的自适应识别方法，我们实现了一种控制系统，可以自适应地保持针对老化和动态特性变化的最佳性能。同时，构建了带有级的反力控制装置的六自由度主动隔振系统，提出了仅使用控制带作为设计参数的辨识与控制一体化设计方法，通过实验验证了其有效性。

项目成果

目標軌跡を考慮した可変構造制御時の過渡応答補償法

考虑目标轨迹的变结构控制瞬态响应补偿方法

• 发表时间: 2009
• 作者: S. Goka;S. Hashimoto;K. Ohishi;T. Ishikawa;S. Adachi;K. Kosaka;H. Kubota and T. Ohmi;橋本 誠司;Sigeki Goka;木暮 雅之;橋本;橋本
• 通讯作者: 橋本

Identification and Control of Precision XYStages with Active Vibration Suppression System

具有主动振动抑制系统的精密 XYStage 的识别和控制

• 发表时间: 2008
• 期刊: Proc. of the 13th International Conference on Power Electronics and Motion Control Conference ( EPE-PEMC2008) 650
• 作者: S. Hashimoto;S. Goka and T. Kondo;Seiji HASHIMOTO;Seiji HASHIMOTO;Mayumi Nitta;Mayumi Nitta
• 通讯作者: Mayumi Nitta

aterial Tester Using a Controlled Oscillator and an Inertial Mass

使用受控振荡器和惯性质量的材料测试仪

• 发表时间: 2008
• 期刊: Journal of Key Engineering Materials Vols. 381-382
• 作者: 甲斐健也;池野直也;Tatsuya Kai;村山嘉延 ら;乾裕昭 ら;村山嘉延;村山嘉延 ら;村山嘉延;Tomoaki Kobayashi;小林 友明;Tomoaki Kobayashi;S. Hashimoto and Y. Fujii
• 通讯作者: S. Hashimoto and Y. Fujii

High-Precision Control of Linear Actuators with Nonlinear Friction

具有非线性摩擦的线性执行器的高精度控制

• 发表时间: 2007
• 期刊: Proc. of 14th IEEE International Conference on Mechatronics and Machine Vision in Practice 2007 (M2VIP2007) 23
• 作者: T. N. Minh;K. Ohishi;M. Takada;S. Hashimoto;K. Kosaka;H. Kubota;and T. Ohmi;S. Hashimoto and Y. Fujii
• 通讯作者: S. Hashimoto and Y. Fujii

可変忘却要素を用いた適応同定法による超精密ステージの摩擦補償法

采用可变遗忘元件自适应辨识方法的超精密工作台摩擦补偿方法

• 发表时间: 2007
• 作者: S. Goka;S. Hashimoto;K. Ohishi;T. Ishikawa;S. Adachi;K. Kosaka;H. Kubota and T. Ohmi;橋本 誠司;Sigeki Goka;木暮 雅之;橋本;橋本;橋本;橋本;S. Hashimoto;Masayuki Kigure;橋本
• 通讯作者: 橋本