Poröse Polymere als low-k Dielektrika für Metallisierungssysteme in der Mikroelektronik
多孔聚合物作为微电子金属化系统的低 k 电介质
基本信息
- 批准号：5345999
- 负责人：
- 金额：--
- 依托单位：
- 依托单位国家：德国
- 项目类别：Research Grants
- 财政年份：2002
- 资助国家：德国
- 起止时间：2001-12-31 至 2006-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
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项目成果
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Professor Dr. Thomas Geßner (†)其他文献
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