NEMS/MEMS and Nanomaterial-enhanced Passive Components Compatible with Advanced Nano-CMOS for Future One-chip Tunable RF Systems

NEMS/MEMS 和纳米材料增强型无源元件与先进纳米 CMOS 兼容，适用于未来单芯片可调谐射频系统

• 批准号: 151246004
• 负责人: Professor Dr. Thomas Geßner (†)
• 金额: --
• 依托单位: Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2009
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2008-12-31 至 2012-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/151246004?language=en
• 关键词: NEMS; MEMS; Nanomaterial; enhanced; Passive

The main goal of this project is to develop key technologies for future one-chip tunable RF components, which will be used in future mobile wireless communication tools. The key technologies include NEMS/MEMS for tunable functions, nanomaterial-enhanced passive components in novel LTCC substrates and their wafer-level integration technology with advanced nano-CMOS.

该项目的主要目标是开发未来单芯片可调谐射频组件的关键技术，该技术将用于未来的移动无线通信工具。关键技术包括用于可调功能的 NEMS/MEMS、新型 LTCC 基板中的纳米材料增强型无源元件及其采用先进纳米 CMOS 的晶圆级集成技术。