Investigation of the deposition process of singel- and multiwalled carbon nanotubes using PECVD

使用 PECVD 研究单壁和多壁碳纳米管的沉积过程

• 批准号: 5265964
• 负责人: Dr. Albrecht Leonhardt
• 金额: --
• 依托单位: Leibniz-Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden (IFW) e.V.
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2000
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1999-12-31 至 2003-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5265964?language=en
• 关键词: Investigation; deposition; process; singel; multiwalled

Ein- und mehrwandige Kohlenstoffröhren gewinnen aufgrund ihrer hervorragenden elektrischen und mechanischen Eigenschaften immer mehr Interesse auf dem Gebiet der Nanotechnologie. Neben physikalischen Verfahren (z. B. Laserablation) erweisen sich thermische CVD-Verfahren (katalytische Pyrolyse von Kohlenwasserstoffen) als besonders vorteilhaft. Letztere Verfahren haben jedoch den Nachteil, daß sie relativ hohe Abscheidungstemperaturen benötigen (größer als 1000 °C). In der zu fördernden Arbeit soll dieser Nachteil beseitigt und ein plasmagestütztes CVD-Verfahren zur Darstellung von Kohlenstoffnanoröhren bei Temperaturen kleiner als 1000 °C eingesetzt werden. Dabei sind die Abscheidungsbedingungen für ein- und mehrwandige Nanoröhren zu ermitteln. Das zur Abscheidung genutzte HF-Plasma wird mit Hilfe einer Langmuir-Sonde und optischer Emissionsspektroskopie charakterisiert werden. Dabei soll festgestellt werden, welche der Radikale und Plasmaparameter (Elektronendichte, Ionendichte, Plasmapotential u. a.) für die Synthese der Nanoröhren entscheidend sind. Sind diese ermittelt, könnte die Sondentechnik als Kontrollinstrument für eine stabile Nanoröhren-Produktion eingesetzt werden. Die abgeschiedenen Kohlenstoff-Nanoröhren werden mit SEM und hochauflösender analytischer TEM, XRD und spektroskopischen Methoden charakterisiert.

Ein- mehrwandigekohlenstoffröhrengewinnen aufgrund ihrer hervorragenden elektrischen und egbiet der gebiet gebiet gebiet der der nanotechnologie。 Neben Physikalischen Verfahren（Z。B。Laserablation）Erweisen Sich Thermche CVD-Verfahren（Katalytische pyrolyse von von kohlenwasserstoffen） Letztere Verfahren Haben Jedoch den Nachteil，daßsierelativ hohe abscheidungstemperaturenbenötigen（größerAls1000°C）。在derZuförderdendenarbeit soll dieser nachteil beseitigt und einplasmagestütztescvd-verfahren zur zur darstellung vonkohlenstoffnanoröhrenbei bei tematuren bei tempaturen tempaturen kleiner kleiner kleiner kleiner kleins kleins kleans a als 1000°C eingesetzt werden。 Dabei Sind DieAbscheidungsbedingungenfürein-und mehrwandigenanoröhrenZu ermitteln。 das zur abscheidung genutzte hf-plasma wird mit hilfe einer langmuir-sonde unt unt optischer imassionsspektroskopie charakterisiert werden。 Dabei Soll festgestellt Werden，Welche der Radikale und Plasmaparameter（Elektronendichte，Ionendichte，plasmaptential u。a。） Sind Diese Ermittelt，KönnteDie sondentechnik als kontrollintrumentfüreine稳定nanoröhren-produktion eingesetzt werden。 SEM的第一步是对TEM，XRD，方法Charakterisiert的分析。