Joint project FORMEDIAN

联合项目 FORMEDIAN

• 批准号: 5236042
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Erhard Kohn
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Elektronische Bauelemente und Schaltungen (EBS)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2000
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1999-12-31 至 2002-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5236042?language=en
• 关键词: Joint; project; FORMEDIAN

Im Rahmen des bisherigen DFG-Schwerpunktes "Synthese superharter Materialien" sind viele grundlegende Untersuchungen zur Herstellung von CVD-Diamantschichten auf Si-Substraten und zu deren physikalisch/chemischer und elektrisch/optischer Charakterisierung durchgeführt worden. Dabei wurde ein Wissensstand erarbeitet, der weitgehend den Stand der Technik bestimmt. Das Hauptziel dieses Verbundantrages besteht daher darin, dieses umfangreiche Grundlagenwissen, dieses umfangreiche Grundlagenwissen, für die Entwicklung neuartiger industrieller Anwendungen einzusetzen, d.h. Demonstratoren zu realisieren, die letztendlich zu neuen Produkten führen sollen. Das Projekt hat drei Teilziele:(A) Aufbau eines Hybridprozesses zur Herstellung von großflächigen hochorientierten Diamantfilmen (HOD) mit hoher mechanischer Stabilität, geringer Netto-Verspannung und guten elektrischen und optischen Halbleiter-Eigenschaften.(B) Realisierung von n-Dotierung mit P, S etc. und pn-Diodenstrukturen.(C) Herstellung von Demonstratoren, insbesondere mikromechanischer Strukturen für die Medizintechnik (GFD), Elektrosonden für die Elektrochemie und UV-Sensoren mit spezifischem Absorptionsspektrum unterhalb der Bandkante.

我是Rahmen des Bisherigen dfg-schwerpunktes“ Synthese Superharter Miteralien” Sind Viele Grundlegende Untersuchungen Zur Herstellung herstellung von cvd cvd-diamantschichten auf si auf si auf si si-si-siubstraten un zu un zu de elektrisch/optischercherung contergerung dorcergef。 Dabei Wurde Wissensstander，der Weitgehend den Stand der Technik Bestimmt。 Das Hauptziel dieses dieses verbundantrages besteht daher darin，dieses umfangreiche grundlagenwissen，dieses umfangreiche grundlagenwissen，fürentwicklung die entwicklung neuarartiger Industrieriellieliellielielliellielielliellielliellieller and einzusetzen einzusetzen，d.h。示威者Zu Realisieren，Die Letztendlich Zu NeuenProduktenFührenSollen。 das projekt hat drei teilziele：（a）aufbau eines杂种Zur HerstellungvonGroßflächigenHochorientientieerientientieerientientieertendiamantfilmen（Hod）Mit Hoher Mit Hoher The Gering系统是Genocide和Genocide的发展中的主要因素。 pn-Diodenstrukturen.(C) Herstellung von Demonstratoren, insbesondere mikromechanischer strukturen für die Medizintechnik (GFD), Elektrosonden für die Elektrochemie und UV-Sensoren mit spezifischem Absorptions spezifischem unterhalb Bandkante.