10HzYAGレーザー生成プラズマを用いた真空紫外用連続光源の開発

使用10HzYAG激光产生等离子体的真空紫外连续光源的开发

基本信息

  • 批准号：
    62750027
  • 负责人：
    上田 潔
  • 金额：
    $ 0.51万
  • 依托单位：
    Tohoku University
  • 依托单位国家：
    日本
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
  • 财政年份：
    1987
  • 资助国家：
    日本
  • 起止时间：
    1987 至 无数据
  • 项目状态：
    已结题

项目摘要

项目成果

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