プラズマガス(メタン・シラン等)の電子による励起解離過程の解析

等离子气体（甲烷、硅烷等）电子诱导激发解离过程分析

基本信息

批准号：
63632519
负责人：
小川禎一郎
金额：
$ 1.15万
依托单位：
Kyushu University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1988
资助国家：
日本
起止时间：
1988 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

プラズマ過程で重要な水・シランを試料に、電子による励起解難過程の解析を行い、励起水素原子の生成断面積を求めた。1.装置の改良……助成金により隔膜型圧力計を購入し電子-分子衝突室に取りつけ、測定中の試料圧をモニターし、断面積が正確に測定できるようにした。助成金によりメモリーボードを購入し、現有のコンピュータに組み込み、データ解析能力を向上させた。2.断面積測定法……電子-分子衝突による発光断面積を測定する手法について吟味し、次の諸点の吟味が必要なことを示した。【○!1】分光測定及び圧力測定の絶対較正【○!2】カスケード効果の補正【○!3】測定領域からの逃げの補正【○!4】スペクトル線の純度。これらの諸点の内でも第3点と第4点については従来ほとんど考慮されていない。3.水の測定と解析……水の電子衝撃で生成した励起水素原子のバルマーα、β線のドプラー線形を、従来よりも高い精度で再測定し解析した。水の4つの主要な励起水素原子生成過程につき角度差ドプラー線形を求めて励起過程の対称性を決めるとともに、並進運動エネルギー分布により解離過程を分類しそれらの生成断面積を求め、プラズマ過程のシミュレーションに必要なデータをえた。4.シランの測定と解析……シランの電子衝撃により生成する励起水素原子のバルマーα、β線のドプラー線形をファブリペロ干渉計により高分解能で測定した。4つの主要な励起水素原子生成過程があった。それらのしきい値と並進運動エネルギー分布はそれぞれ、(1)19-21eV、0-2eV、(2)23-25eV、0-2eV、(3)35-40eV、2-5eV、(4)50-60eV、6-10eVであった。これらの励起水素原子の並進運動エネルギー分布別の発光断面積を求めた。

使用水和硅烷在等离子体过程中很重要，作为样品，通过电子分析了激发和分散的过程，并确定了激发氢原子的形成的横截面面积。 1。设备的改进...购买了补贴以在电子分子碰撞室中安装隔膜压力表，并监控了测量过程中的样品压力，从而可以准确的横截面面积测量。授予该赠款以购买存储板并将其纳入当前计算机以提高数据分析功能。 2。横截面区域测量方法：我们检查了测量由电子 - 分子碰撞引起的发光横截面区域的方法，并表明需要检查以下几个点。 [○！1]光谱测量和压力测量的绝对校准[○！2]级联效应校正[○！3]校正从测量区域的逃脱[○！4]光谱线的纯度。在这些点中，过去很少考虑第三点和第四点。 3。水的测量和分析...比以前更高的精度重新测量了由电子影响产生的激发氢原子的Balmerα和β射线的多普勒线性形状。激发过程的对称性是通过确定水中四个主要的激发氢原子生产过程的角度差多普勒线形状的确定，并且通过转化动能分布和确定其形成的横截面区域对分离过程进行分类，并确定了仿真过程所需的数据。 4。硅烷的测量和分析...通过高分辨率的Fabry-Perrot干涉仪测量了由电子撞击产生的激发氢原子的Balmerα和β射线的多普勒线形状。有四个主要的激发氢原子生产过程。它们的阈值和翻译动能分布分别为（1）19-21EV，0-21，（2）23-25EV，0-21，（3）35-40EV，2-5EV，2-5EV，（4）50-60EV和6-10EV。这些激发氢原子的发光横截面面积是根据平移动能分布确定的。