プラズマガス(メタン・シラン等)の電子による励起解離過程の解析

等离子气体（甲烷、硅烷等）电子诱导激发解离过程分析

基本信息

批准号：
63632519
负责人：
小川禎一郎
金额：
$ 1.15万
依托单位：
Kyushu University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1988
资助国家：
日本
起止时间：
1988 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

プラズマ過程で重要な水・シランを試料に、電子による励起解難過程の解析を行い、励起水素原子の生成断面積を求めた。1.装置の改良……助成金により隔膜型圧力計を購入し電子-分子衝突室に取りつけ、測定中の試料圧をモニターし、断面積が正確に測定できるようにした。助成金によりメモリーボードを購入し、現有のコンピュータに組み込み、データ解析能力を向上させた。2.断面積測定法……電子-分子衝突による発光断面積を測定する手法について吟味し、次の諸点の吟味が必要なことを示した。【○!1】分光測定及び圧力測定の絶対較正【○!2】カスケード効果の補正【○!3】測定領域からの逃げの補正【○!4】スペクトル線の純度。これらの諸点の内でも第3点と第4点については従来ほとんど考慮されていない。3.水の測定と解析……水の電子衝撃で生成した励起水素原子のバルマーα、β線のドプラー線形を、従来よりも高い精度で再測定し解析した。水の4つの主要な励起水素原子生成過程につき角度差ドプラー線形を求めて励起過程の対称性を決めるとともに、並進運動エネルギー分布により解離過程を分類しそれらの生成断面積を求め、プラズマ過程のシミュレーションに必要なデータをえた。4.シランの測定と解析……シランの電子衝撃により生成する励起水素原子のバルマーα、β線のドプラー線形をファブリペロ干渉計により高分解能で測定した。4つの主要な励起水素原子生成過程があった。それらのしきい値と並進運動エネルギー分布はそれぞれ、(1)19-21eV、0-2eV、(2)23-25eV、0-2eV、(3)35-40eV、2-5eV、(4)50-60eV、6-10eVであった。これらの励起水素原子の並進運動エネルギー分布別の発光断面積を求めた。

以等离子体过程中重要的水和硅烷为样品，分析了电子激发和阐明过程，并确定了激发氢原子形成的截面。 1、改进设备：拨款购买隔膜式压力表，安装在电子-分子碰撞室中，用于监测测量过程中样品的压力，从而可以准确测量横截面积。利用这笔资金，他们购买了一块内存板并将其安装到现有的计算机中，以提高数据分析能力。 2. 横截面积测量方法：我们研究了测量由于电子-分子碰撞而产生的发射横截面的方法，结果表明需要仔细考虑以下几点。 [○!1] 光谱和压力测量的绝对校准 [○!2] 级联效应的校正 [○!3] 测量区域逃逸的校正 [○!4] 谱线的纯度。其中，第三点和第四点过去几乎没有被考虑过。 3.水的测量和分析...重新测量和分析了电子轰击水产生的受激氢原子的巴尔默α和β射线的多普勒谱线，其精度比以前更高。我们通过确定水中四个主要激发氢原子产生过程的角差多普勒线性度来确定激发过程的对称性，并根据平动动能分布对解离过程进行分类并确定其产生交叉，从而模拟等离子体过程我得到了我需要的数据。 4.硅烷的测量和分析...使用法布里-珀罗干涉仪高分辨率测量硅烷的电子轰击产生的激发氢原子的巴尔默α和β射线的多普勒线。有四种主要的激发氢原子生产过程。它们的阈值和平移动能分布为（1）19-21eV，0-2eV，（2）23-25eV，0-2eV，（3）35-40eV，2-5eV，（4）50 -60eV，6- 10eV。确定了这些激发氢原子的每个平动动能分布的发射截面。