超高密度反応性プラズマ法による窒化ホウ素ナノ結晶集合体構造の信頼性物理の研究
超高密度反应等离子体法氮化硼纳米晶聚集体结构可靠性物理研究
基本信息
- 批准号：23H01728
- 负责人：
- 金额：$ 12.31万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- 财政年份：2023
- 资助国家：日本
- 起止时间：2023-04-01 至 2026-03-31
- 项目状态：未结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
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会议论文数量（0）
专利数量（0）
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- 影响因子：0
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- DOI：
- 发表时间：
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- 影响因子：0
- 作者：
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占部 継一郎
高調波干渉計を用いたプラズマ電子密度診断の現状と課題
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- DOI：
- 发表时间：
2020 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
鬼頭 聖弥;佐藤 幹夫;江利口 浩二;占部 継一郎;占部 継一郎;Takeshi Yamazaki;占部 継一郎 - 通讯作者：
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2019 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
鬼頭 聖弥;佐藤 幹夫;江利口 浩二;占部 継一郎;占部 継一郎;Takeshi Yamazaki - 通讯作者：
Takeshi Yamazaki
フローティング高調波プローブ法によるプラズマパラメータ計測における浮遊容量とプローブポテンシャルの影響
杂散电容和探针电位对浮动谐波探针法等离子体参数测量的影响
- DOI：
- 发表时间：
2021 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
鬼頭 聖弥;佐藤 幹夫;江利口 浩二;占部 継一郎 - 通讯作者：
占部 継一郎
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超高密度反应等离子体法氮化硼纳米晶聚集体结构可靠性物理研究
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Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
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23K21051 - 财政年份：2024
- 资助金额：
$ 12.31万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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