原子層堆積ハイブリッド表面の局所ダイナミクスの解明と3Dヘテロデバイスへの応用
阐明原子层沉积混合表面的局部动力学及其在 3D 异质器件中的应用
基本信息
- 批准号：23H01695
- 负责人：
- 金额：$ 11.98万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- 财政年份：2023
- 资助国家：日本
- 起止时间：2023-04-01 至 2026-03-31
- 项目状态：未结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
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专著数量（0）
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会议论文数量（0）
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井上 史大其他文献
ハイブリッド接合に向けた化学機械研磨中の金属腐食挙動の解析
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$ 11.98万 - 项目类别：
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$ 11.98万 - 项目类别：
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- 批准号：
22K18291 - 财政年份：2022
- 资助金额：
$ 11.98万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Research (Pioneering)
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- 批准号：
21H04545 - 财政年份：2021
- 资助金额：
$ 11.98万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
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- 批准号：
20K19772 - 财政年份：2020
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Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
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19J13974 - 财政年份：2019
- 资助金额：
$ 11.98万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows