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原子層堆積ハイブリッド表面の局所ダイナミクスの解明と3Dヘテロデバイスへの応用
阐明原子层沉积混合表面的局部动力学及其在 3D 异质器件中的应用
基本信息
- 批准号：23K26388
- 负责人：
- 金额：$ 7.99万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- 财政年份：2024
- 资助国家：日本
- 起止时间：2024-02-28 至 2026-03-31
- 项目状态：未结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
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会议论文数量（0）
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井上 史大
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