その場波面制御で自在に操る干渉定在波によるサブμｍ級自由微細構造の大面積露光創成

使用可通过原位波前控制自由操纵的干涉驻波创建亚微米级自由精细结构的大面积曝光

基本信息

批准号：
22H01370
负责人：
清水裕樹
金额：
$ 11.15万
依托单位：
Hokkaido University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2022
资助国家：
日本
起止时间：
2022-04-01 至 2025-03-31
项目状态：
未结题

项目摘要

本研究では，サブマイクロメートル級微細パターンのマスクレス露光を実現する波面制御型光干渉リソグラフィ光学系を開発する．非直交型2軸ロイドミラー干渉計光学系に波面制御を融合して，不等ピッチ2軸ドットアレイの高精度創成を実現すること，波面制御型の非直交型2軸ロイドミラー干渉計にデュアル波長レーザ光源を導入し，レジスト透過レーザによる観測干渉定在波をもとに，レジスト吸収レーザで得られる露光干渉定在波をインプロセスで「その場」推定するアルゴリズムを確立し，パターン創成プロセスの効率と精度を向上すること，および露光サブビーム（直接/X/Yビーム）の波面を独立に制御するアルゴリズムを構築し，2軸干渉定在波中の各光スポットの独立制御によるマスクレスでのサブμm級自由パターン露光を実現すること，を目的とする．計画初年度となる令和４年度は，露光干渉定在波と観測干渉定在波，二つの定在波を生成する干渉計光学系を構築するとともに，観測干渉定在波を「その場」観察する光学系を構築した．まず，干渉定在波を生成する非直交型１軸ロイドミラー干渉計を構築した．波長の異なる２つの半導体レーザを光源として採用し，同軸にアライメントした．また，長波長レーザをもとに基板上に生成する観測干渉定在波を「その場」観察する光学系も設計・構築した．基礎特性実験の結果，観測干渉定在波による結像パターンをもとに，短波長レーザで基板上に生成する露光干渉定在波の干渉縞ピッチを推定可能であることを実験的に明らかにした．

在这项研究中，我们将开发一个波前控制的光学式光刻光学系统，该光刻实现了亚微米级级别图案的无掩模暴露。目的是将波前控制与非正交的2轴Lloyd镜像干涉仪光学系统相结合，以实现高精度的高度创建不等的音高2轴DOT阵列，将双波长激光源引入波浪边缘的光偏见的非对照的非正交2型lloyd镜面镜像，以建立一个估计的Algorith，该估计的体积'Algority'通过抵抗传输激光内部进程获得的干涉率常规波，提高了图案创建过程的效率和准确性，并构建算法，该算法独立控制裸露的子梁的波前（直接/X/Y光束）（直接/X/Y光束），并实现无掩模的无us-m-class sub-class免费模式通过在每个光学上进行独立的效果，在两个 - 式的范围内实现了两种效果。在该项目的第一年的2022财政年度，我们建立了一个干涉仪的光学系统，该光学系统产生了两种常规波：裸露的干涉仪和观察到的干涉率常规波，以及一个观察到观察到的干涉量遗嘱的光学系统。首先，我们构建了一个非正交的单轴Lloyd镜面干涉仪，该干涉仪会产生干扰。两个具有不同波长的半导体激光器用作光源，并同轴排列。我们还设计并构建了一个光学系统，该光学系统观察到使用长波长激光器在基板上产生的干扰静脉波的“原位”观察结果。作为基本特征实验的结果，我们通过实验表明，可以根据观察到的干扰式静电波的图像形成模式来估计，在基板上产生的裸露干扰站立波的干扰边缘俯仰可以估算。