２軸干渉グリッド定在波一括転写と自律的精度保証による次世代光ナノグリッド基準創出
利用两轴干涉网格驻波批量传输和自主精度保证创建下一代光学纳米网格标准
基本信息
- 批准号：15H02212
- 负责人：
- 金额：$ 12.23万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
- 财政年份：2015
- 资助国家：日本
- 起止时间：2015-04-01 至 2019-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
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