Principle of Micro-Beam Sensor and Its application to Bio/Chemical Sensing
微光束传感器原理及其在生物/化学传感中的应用
基本信息
- 批准号：22246026
- 负责人：
- 金额：$ 32.2万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
- 财政年份：2010
- 资助国家：日本
- 起止时间：2010 至 2012
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
This study aimed to develop a new method for measuring thermal conductivity of gases and liquids using a micro-beam MEMS sensor that is suspended across a trench on a silicon substrate. In this method, the thermal conductivity of a sample is determined by measuring the temperature of the sensor at a steady-state after heating it in a sample fluid. After developing the fabrication process, feasibility of the method was demonstrated by comparing the results between the air and FC-72 as test fluids using platinum and gold sensors approximately 10 μm in length. The fact that the temperature rise of the sensor does not depend on the flow was also demonstrated by an experiment in an external air flow, which is important for the application of the sensor as gas sensors.
本研究旨在开发一种使用悬挂在硅基板上沟槽上的微束 MEMS 传感器来测量气体和液体热导率的新方法。在该方法中，通过测量温度来确定样品的热导率。在开发制造工艺后，通过使用约 10 μm 的铂和金传感器比较空气和 FC-72 作为测试流体的结果，证明了该方法的可行性。在外部气流中的实验也证明了传感器的温升不依赖于流量，这对于传感器作为气体传感器的应用非常重要。
项目成果
期刊论文数量（15）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
Preliminary Study of the Measurement of Thermal Conductivity of Fluids with a Micro-Beam MEMS Sensor
微束MEMS传感器测量流体热导率的初步研究
- DOI：
- 发表时间：2010
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：H.Takamatsu;T.Tanaka;Y.Furuya;S.Uchida;K.Kurata;K.Takahashi
- 通讯作者：K.Takahashi
マイクロビーム型熱伝導率検出器に関する研究―センサの温度上昇に及ぼす流れの影響―
微束式热导检测器研究-流量对传感器温升的影响-
- DOI：
- 发表时间：2012
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Yoshizawa;K;久田耕祐
- 通讯作者：久田耕祐
常温駆動マイクロビーム水素センサに関する研究
常温微束氢传感器研究
- DOI：
- 发表时间：2012
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：J.Hatayama;Y.Yanagida and T.Hatsuzawa;原田二朗;塩入雅貴
- 通讯作者：塩入雅貴
Fabrication of a micro-beam MEMS sensor for measurement of thermal conductivity of fluids
制造用于测量流体导热率的微束 MEMS 传感器
- DOI：
- 发表时间：2012
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Y. Tanaka;T. Fukunaga;K. Kurata;K. Takahashi;H. Takamatsu
- 通讯作者：H. Takamatsu
マイクロビーム型熱伝導率検出器に関する研究-センサの温度上昇に及ぼす流れの影響
微束式热导检测器研究——流量对传感器温升的影响
- DOI：
- 发表时间：2012
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Ryoji Kanno;Miki Nagao;Masaaki Hirayama;久田耕祐,福永鷹信,内田悟,藏田耕作,高松洋
- 通讯作者：久田耕祐,福永鷹信,内田悟,藏田耕作,高松洋
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