Development of mechanical + chemical hybrid manufacturing technology of sapphire crystal wafer

蓝宝石晶片机械化学混合制造技术开发

基本信息

  • 批准号：
    15H02213
  • 负责人：
    ZHOU LIBO
  • 金额：
    $ 27.54万
  • 依托单位：
    Ibaraki University
  • 依托单位国家：
    日本
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
  • 财政年份：
    2015
  • 资助国家：
    日本
  • 起止时间：
    2015-04-01 至 2019-03-31
  • 项目状态：
    已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量（46）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
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专利数量（0）
Study on the finishing capability and abrasives-sapphire interaction in dry chemo-mechanical-grinding (CMG) process
Molecular Dynamics Simulation of Cutting Process Accompanied by a Localized Compressive Hydrostatic Stress Field Formation
局部静水压应力场形成切削过程的分子动力学模拟
  • DOI：
  • 发表时间：
    2015
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Keito Uezaki;Jun Shimizu;Libo Zhou;Takeyuki Yamamoto;Teppei Onuki;Hirotaka Ojima
  • 通讯作者：
    Hirotaka Ojima
Error characteristics analyses in optical wafer-thickness measurements
光学晶圆厚度测量的误差特征分析
  • DOI：
  • 发表时间：
    2016
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    Teppei ONUKI;Yuki NEMOTO;Hirotaka OJIMA;Jun SHIMIZU;Libo ZHOU
  • 通讯作者：
    Libo ZHOU
Study on the potential of chemo-mechanical-grinding (CMG) process of sapphire wafer
Process study on large-size silicon wafer grinding by using a small-diameter wheel
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