Modeling and suppression of the striation formation arising during spincoating of photoresist films
光致抗蚀剂薄膜旋涂过程中出现的条纹形成的建模和抑制
基本信息
- 批准号：17H07158
- 负责人：
- 金额：$ 1.91万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Research Activity Start-up
- 财政年份：2017
- 资助国家：日本
- 起止时间：2017-08-25 至 2019-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（5）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
薄液膜の塗布時に発生する放射状スジムラの形成機構
液膜涂覆过程中径向条纹的形成机制
- DOI：
- 发表时间：2017
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：林和眞;塩地彩加;白鳥 英，永野 秀明，島野 健仁郎
- 通讯作者：白鳥 英，永野 秀明，島野 健仁郎
回転基板上の液膜流れにおけるマランゴニ数の過渡変化
旋转基底上液膜流中马兰戈尼数的瞬态变化
- DOI：
- 发表时间：2018
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Suguru Shiratori;Hideaki Nagano and Kenjiro Shimano;佐野竜平;白鳥 英，永野 秀明，島野 健仁郎
- 通讯作者：白鳥 英，永野 秀明，島野 健仁郎
Linear stability analysis on liquid film flow on the rotating disc
转盘上液膜流动的线性稳定性分析
- DOI：
- 发表时间：2018
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Suguru Shiratori;Hideaki Nagano and Kenjiro Shimano
- 通讯作者：Hideaki Nagano and Kenjiro Shimano
遠心力場での液膜流れに関する線形安定性解析
离心力场中液膜流动的线性稳定性分析
- DOI：
- 发表时间：2017
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：榎波晨悟;斎藤健太;阿部圭佐; 塩本公平;Kohei Shiomoto;舘葉月;Hazuki Tate;佐野竜平;Hwajin lim;Hazuki Tate;白鳥 英，島野 健仁郎，永野 秀明
- 通讯作者：白鳥 英，島野 健仁郎，永野 秀明
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Shiratori Suguru其他文献
Spatio-temporal thickness variation and transient Marangoni number in striations during spin coating
旋涂过程中条纹中的时空厚度变化和瞬态马兰戈尼数
- DOI：
10.1016/j.ijheatmasstransfer.2020.119678 - 发表时间：
2020 - 期刊：
- 影响因子：5.2
- 作者：
Shiratori Suguru;Kato Daiki;Sugasawa Kyosuke;Nagano Hideaki;Shimano Kenjiro - 通讯作者：
Shimano Kenjiro
Physics-Informed Neural Networkにおける活性化関数の種別の影響
物理信息神经网络中激活函数类型的影响
- DOI：
- 发表时间：
2022 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
Shiratori Suguru;Nagano Hideaki;Shimano Kenjiro;杉原 伊織，白鳥 英，永野 秀明，島野 健仁郎 - 通讯作者：
杉原 伊織，白鳥 英，永野 秀明，島野 健仁郎
月刊ファインケミカル3月号
精细化工月刊三月号
- DOI：
- 发表时间：
2022 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
Hayasaka You;Kuribayashi Kazuhiko;Shiratori Suguru;Ozawa Shumpei;宮﨑 司 - 通讯作者：
宮﨑 司
Nucleation-Controlled Phase Selection in Rapid Solidification from Undercooled Melt of DyMnO<sub>3</sub>
DyMnO<sub>3</sub>过冷熔体快速凝固过程中的形核控制相选择
- DOI：
10.2320/matertrans.mt-m2021047 - 发表时间：
2021 - 期刊：
- 影响因子：1.2
- 作者：
Hayasaka You;Kuribayashi Kazuhiko;Shiratori Suguru;Ozawa Shumpei - 通讯作者：
Ozawa Shumpei
Semi-analytical solution for deformation of elastic/viscoelastic two-layered films pressed on partially-opened substrate
部分开口基底上弹性/粘弹性双层薄膜变形的半解析解
- DOI：
10.1016/j.ijsolstr.2019.12.013 - 发表时间：
2020 - 期刊：
- 影响因子：3.6
- 作者：
Shiratori Suguru;Nagano Hideaki;Shimano Kenjiro - 通讯作者：
Shimano Kenjiro
Shiratori Suguru的其他文献
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{{ truncateString('Shiratori Suguru', 18)}}的其他基金
Prediction of thickness undulations in coating of liquid films by means of physics-informed machine learning
通过物理信息机器学习预测液膜涂层的厚度波动
- 批准号：
19K04175 - 财政年份：2019
- 资助金额：
$ 1.91万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
相似海外基金
Postdoctoral Fellowship: EAR-PF: To roll, flow, or fracture - that is the question: Investigating the mechanisms behind friction and the stability of faults
博士后奖学金：EAR-PF：滚动、流动或断裂 - 这就是问题：研究摩擦和断层稳定性背后的机制
- 批准号：
2305630 - 财政年份：2024
- 资助金额：
$ 1.91万 - 项目类别：
Fellowship Award
Regulation of Intraocular Pressure via a Novel Adjustable Glaucoma Drainage Device
通过新型可调节青光眼引流装置调节眼压
- 批准号：
10735637 - 财政年份：2023
- 资助金额：
$ 1.91万 - 项目类别：
A novel therapeutic approach for Alzheimer Disease (AD)
阿尔茨海默病（AD）的新治疗方法
- 批准号：
10740016 - 财政年份：2023
- 资助金额：
$ 1.91万 - 项目类别：
Investigating PUM1 mediated post-transcriptional regulation of human hemoglobin switching and erythropoiesis
研究 PUM1 介导的人血红蛋白转换和红细胞生成的转录后调节
- 批准号：
10568059 - 财政年份：2023
- 资助金额：
$ 1.91万 - 项目类别：