ホローコーン照明による超解像無収差結像法の開発

利用空心锥照明的超分辨率无像差成像方法的发展

基本信息

批准号：
07650064
负责人：
高井義造
金额：
$ 1.02万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
财政年份：
1995
资助国家：
日本
起止时间：
1995 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

我々は電子顕微鏡の分解能を超解像化させるため幾つかの手法を開発中である。焦点位置変調型画像処理法、加速電圧変調法による実時間画像処理法、照射ビームの角度変調型超解像法等である。これら3つの手法はお互いに独自の長所を有しており、複合的な利用方法が望まれる。すなわち研究課題のホローコーン照明結像法は3番目の手法に分類されるが、1ないしは2番目の焦点位置変調効果加えて初めて超解像化が達成される。本年度は超解像無収差結像の進展として研究発表1-6)(内4件は印刷中)、及び応用研究としてこれらの結像法を用いたダイヤモンド界面の原子構造解析に関する4編の研究発表を行った。具体的な成果をまとめると以下の通りである。1)現有のHoolw-cone照明法をより正確に行い超解像化を進めるためにコマ収差の新しい測定法を提案した。(研究発表1)2)超解像法の原理と応用に関する招待講演を2つの国際会議で行った(研究発表2、3)。3)超解像化の達成度を評価するために分解能を正確に評価する手法を提案した(研究発表4)。4)無収差観察技術を実時間化させることに成功した。(研究発表5、6)また、これらの手法を用いた応用研究として界面構造解析を実施した。すなわち、5)ダイヤモンド/ダイヤモンド界面の欠陥構造、不純物解析に成功した。界面には過剰炭素によって形成されたと考えられる格子間原子型の転位ループが観察された。また不純物として鉄とシリコンが界面において検出され、成膜時の不純物混入と膜質の関係が議論された。成長膜中にも成長方位によって格子間原子型の転位ループが連なっている特異な欠陥構造が観察され、成長メカニズムとの関連が議論された。(関連論文3件)6)鏡面シリコン基板上の初期成長ダイヤモンド粒の成長メカニズムを界面構造観察から推定した。すなわち格子欠陥によって発生したエッチピットが核発生点になっていることを明らかにした(論文1件)。以上が本年度のおもな研究実績である。

我们正在开发多种方法来超级分辨率分辨率分辨率。聚焦位置转换类型图像处理方法，通过加速电压调制，角度调制类型的辐射光束的超级成像方法的实际时间图像处理方法。这三种方法彼此之间具有自己的优势，并且需要复杂的使用。换句话说，研究主题的空心锥照明成像方法被归类为第三种方法，但是仅在第一个或第二个焦点位置调制效果之后才能实现超分辨率。今年，研究表现是一种无分辨率的像差雕像1-6的进步（其中4个印刷），以及使用这些结合作为申请研究的4个关于钻石界面的原子结构分析的研究被制作了。具体结果总结如下。 1）我们提出了一种新的框架畸变测量方法，以更准确地促进当前的hoolw-cone照明方法并促进超分辨率。（研究介绍1）2）在两个国际会议上举行了有关超级分辨率原则和应用的邀请讲座（研究介绍2，3）。 3）我们提出了一种准确评估分辨率以评估超分辨率实现的方法（研究表现4）。 4）我们成功地实现了非观察技术。（研究介绍5，6）此外，使用这些方法作为应用研究进行了界面结构分析。也就是说，5）钻石/钻石界面结构和杂质成功。在界面上，观察到一个晶格 - 原子收敛环被认为是由过量碳形成的。在界面上检测到铁和硅作为杂质，并讨论了膜混合质量与膜质量之间的关系。在生长膜中，观察到通过生长方向连接晶格 - 原子收敛回路的独特缺陷结构，并讨论了与生长机制的关系。（3相关论文）6）从界面结构观察中估算了镜面硅底物上初始生长钻石晶粒的生长机制。换句话说，据透露，晶格缺陷产生的蚀刻坑是核发生点（1纸）。以上是今年的主要研究记录。