真空紫外高輝度発光ダイオードを用いた画像計測システム

采用真空紫外高亮度发光二极管的图像测量系统

• 批准号: 17656027
• 负责人: 猿倉 信彦
• 金额: $ 1.92万
• 依托单位: Osaka University (2006-2007)Institute for Molecular Science (2005)
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Exploratory Research
• 财政年份: 2005
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2005 至 2007
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-17656027/
• 关键词: 光源技術; 半導体物性; 画像計測; 真空紫外; 発光ダイオード; 真空紫外領域; 高輝度光源

平成19年度は、新たに製作した真空紫外分光器と、同領域の画像計測システムを用いて、各種結晶成長手法で作製した結晶の光励起発光を観測した。測定には、マイクロ引下げ法で作製されたフッ化物結晶(Ce:LiCAF、Nd:LaBaFなど)や、水熱法で作製された大型Zn0結晶を用いた。1.マイクロ引下げ成長法で作製したフッ化物結晶の光学特性評価平成18年度に作製した真空紫外分光器を用いて、Nd:LaBaF、Nd:LaFの真空紫外領域における吸収・発光スペクトルを測定したところ、164nmまでの透過性と、175nm付近の広帯域な発光ピークが測定された。これらの測定から、フッ化物結晶が、真空紫外領域シンチレータ及び、波長可変レーザー材料として有望な光学特性をもつことが明らかになった。2.水熱成長法Zn0大型結晶のEUVシンチレータ特性銀イオンプラズマ軟X線レーザーを励起源(13.9nm)に用い、同領域におけるシンチレーション特性を測定した。その結果、紫外域波長に依存しない高速な発光特性を示すことが明らかとなり、この結果は、次世代リソグラフィ用シンチレータ材料として適した性質を示している。昨年度から2年間の研究を通して、本研究課題の目的であった、真空紫外領域の分光器及び画像計測システムの作製を完了した。さらに、これらの実験装置を用いて、真空紫外領域のシンチレータや波長可変レーザーの実現に向けて、新結晶の光学特性評価を行い、上述のような成果を得た。

2007年，使用新制造的真空紫外光谱仪和同一区域中的图像测量系统观察到了使用各种晶体生长方法产生的晶体的光激发晶体发射。为了进行测量，使用了微倒量方法制备的氟化物晶体（例如CE：LICAF，ND：LABAF），并使用了由热液方法制备的大ZN0晶体。 1。使用微型下拉生长方法制备的氟化物晶体使用真空紫外线光谱仪在2006年制备的真空紫外光谱仪，ND：LABAF和ND：ND：LAF的吸收和发射光谱测量了真空紫外线区域的LAF：LAF，最多可达164 Nm和较大的峰值发射。这些测量结果表明，氟化物晶体作为真空紫外线闪烁体和可调激光材料具有有希望的光学特性。 2。具有热液生长的大Zn0晶体的EUV闪烁体特征，银离子血浆软X射线激光用作激发源（13.9 nm），以测量同一区域中的闪烁特性。结果，很明显，高速发射特性与紫外线波长无关，并且该结果显示了适当的特性，作为下一代光刻造影的闪烁体材料。从去年开始的两年研究中，完成了该研究主题的目的，真空紫外线区域光谱仪和图像测量系统的生产已经完成。此外，使用这些实验设备，评估了新晶体的光学特性，以实现真空紫外线区域中的闪烁体和可调波长激光器，并获得了上述结果。

项目成果

Ce^<3+>-doped LiCaAlF_6 crystals as a solid-state ultraviolet saturable absorber and role of excited state absorption

Ce^<3>掺杂LiCaAlF_6晶体作为固态紫外可饱和吸收剂及其激发态吸收的作用

• 发表时间: 2005
• 期刊: Jpn.J.Appl.Phys. 44
• 作者: L.H.Hai;N.D.Hung A.Quema;G.Diwa;H.Murakami;S.Ono;N.Sarukura
• 通讯作者: N.Sarukura

Hydrothermal method grown large-sized zinc oxide single crystal as fast scintillator for future extreme ultraviolet lithography

• DOI: 10.1063/1.2815920
• 发表时间: 2007-12
• 期刊: Applied Physics Letters
• 影响因子: 4
• 作者: Momoko Tanaka;M. Nishikino;H. Yamatani;K. Nagashima;T. Kimura;Y. Furukawa;H. Murakami;S. Saito-

Nd^<3+>: (La_<1-x>, Ba_x)F_<3-x> grown by micro-pulling down as vacuum ultraviolet scintillator and potential laser material

Nd^<3>：微下拉生长的(La_<1-x>,Ba_x)F_<3-x>作为真空紫外闪烁体和潜在的激光材料

• 发表时间: 2007
• 作者: S.Ono;H.Murakami A.Quema;G.Diwa;N.Sarukura;R.Nagasaka;Y.Ichikawa;H.Ogino;E.Ohshima;A.Yoshikawa;T.Fukuda;Marilou Cadatal;Marilou Cadatal;Marilou Cadatal
• 通讯作者: Marilou Cadatal

Band-structure design of fluoride complex materials for deep-ultraviolet light-emitting diodes

• DOI: 10.1143/jjap.44.7285
• 发表时间: 2005-10-01
• 期刊: JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS
• 作者: Ono, S;El Ouenzerfi, R;Fukuda, T
• 通讯作者: Fukuda, T

Optical properties of micro-pulling down method grown Nd^<3+>: (La_<1-x>, Ba_x)F_<3-x> as potential vacuum ultraviolet laser material and scintillator

微下拉法生长Nd^<3>:(La_<1-x>,Ba_x)F_<3-x>作为潜在真空紫外激光材料和闪烁体的光学特性

• 发表时间: 2008
• 作者: S.Ono;H.Murakami A.Quema;G.Diwa;N.Sarukura;R.Nagasaka;Y.Ichikawa;H.Ogino;E.Ohshima;A.Yoshikawa;T.Fukuda;Marilou Cadatal
• 通讯作者: Marilou Cadatal