SiCモールドを用いたマイクロ非球面ガラスレンズのプレス加工に関する研究

SiC模具压制微型非球面玻璃镜片的研究

基本信息

批准号：
16656046
负责人：
田中秀治
金额：
$ 2.24万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Exploratory Research
财政年份：
2004
资助国家：
日本
起止时间：
2004 至 2005
项目状态：
已结题

项目摘要

マイクロ非球面ガラスレンズをプレス加工するための技術を研究した。現在,プラスチックの微細光学部品は,射出成形やプレス加工によって大量生産され,CD, DVD,光通信デバイスなどに利用されているが,プラスチックは熱膨張が大きいこと,湿気に弱いこと,分散が大きいこと,短波長光の吸収が大きいことなどの問題を有している。したがって,微細光学部品材料をプラスチックからガラスに置き換えたいというニーズが存在する。昨年度は,マスクレス露光機を用いて,シリコン基板に非球面レンズ形状を形成する技術,およびシリコン基板の非球面レンズ形状を,SiCモールドに高精度に転写する技術を研究し,研究計画通りの成果をあげた。今年度は,SiCモールドを用いて,ガラスにプレス加工する技術を研究した。ガラスプレスのために,所有していた真空ホットプレスを改造し,モールドとガラス板とを取り付けるステージ,プレス圧・プレス量を精密制御するためのサーボモータ駆動油圧回路,特殊油圧シリンダなどを装備し,これを制御するためのソフトウェアを開発した。これを用いて,ガラスプレス実験が可能になった。試料には,MEMSに多用されるパイレックスガラス(コーニング7740)を選択した。このガラスの軟化点は約820℃であるので,この温度近傍でプレス加工を行い,SiCモールド上の微細パターンを良好に転写できた。また,このときSiCモールドの損傷は見当たらなかった。以上の結果から,SiCモールドを用いたマイクロ非球面ガラスレンズのプレス加工技術のフィージビリティを確認し,本研究の目的を計画通り達した。

我们研究了按下微型玻璃透镜的技术。当前，精细的塑料光学组件是通过注入成型和压榨大量生产的，并且用于CD，DVD，光学通信设备等，但是塑料存在诸如高热膨胀，低湿度，高分散和高功能的问题。因此，需要用玻璃替换塑料中的精细光学组件材料。去年，我们研究了使用无膜曝光机在硅底物上形成非球形镜头形状的技术，并以高精度将硅底物上的非球形透镜形状转移到SIC中，并根据研究计划实现了结果。今年，我们研究了使用SIC模具按压玻璃的技术。对于玻璃机，我们修改了我们拥有的真空热按压，并配备了一个用于连接模具和玻璃板的阶段，伺服电动机驱动的液压电路，以精确控制压力和压力的压力，以及用于控制此软件的软件。这使得玻璃新闻实验可能。在MEMS中经常使用的Pyrex玻璃（Corning 7740）被选为样品。该玻璃的软化点约为820°C，因此在此温度附近执行按压，并成功地传递了SIC模具上的精细图案。此外，此时未发现在SIC模具中发现损坏。从以上结果来看，我们确认了使用SIC模具对微千岸玻璃透镜的新闻处理技术的可行性，并按计划实现了这项研究的目的。

项目成果

期刊论文数量（3）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

マスクレス露光装置を用いたグレイスケールフォトレジストパターンの作製

使用无掩模曝光设备制造灰度光刻胶图案

DOI：
发表时间：
2005
期刊：
電気学会全国大会講演論文集 (発表予定)
影响因子：
0
作者：
戸津健太郎;藤代健太;田中秀治;江刺正喜
通讯作者：
江刺正喜

Micro Press Molding of Pyrex Glass using SiC Molds

使用 SiC 模具对 Pyrex 玻璃进行微压成型

DOI：
发表时间：
2005
期刊：
Proceedings of the 22nd Sensor Symposium
影响因子：
0
作者：
Kyung-Oh Min;Shuji Tanaka;Masayoshi Esashi
通讯作者：
Masayoshi Esashi

MICRO/NANO GLASS PRESSMOLDINGUSING SILICON CARBIDEMOLDS FABRICATED RY SILICON LOSTMOLDING

微/纳米玻璃模压成型采用碳化硅模具制造 RY 硅消失模成型

DOI：
发表时间：
2005
期刊：
Proc.IEEE MEMS 2005
影响因子：
0
作者：
Kyong-Oh Min;Shuji Tanaka;Masayoshi Esashi
通讯作者：
Masayoshi Esashi

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