Research on technology for fabricating medical and biochemical micro-parts using optical lithography onto cylindrical surfaces of small-diameter pipes

小口径管材圆柱表面光学光刻制造医疗生化微型零件技术研究

• 批准号: 26390040
• 负责人: HORIUCHI Toshiyuki
• 金额: $ 3.16万
• 依托单位: Tokyo Denki University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2014
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2014-04-01 至 2017-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-26390040/
• 关键词: 光リソグラフィ; 同期走査回転投影露光; レーザ走査露光; ステンレス管; ウェットエッチング; マイクロ部品; ステント; マルチスリット管; リソグラフィ; 同期走査投影露光装置; レーザ走査露光装置; 金属管; SUS304; 円柱面露光; 円柱面投影露光装置; 円柱面へのリソグラフィ; 偏心補正; 電解エッチング

项目成果

同期走査投影露光と化学エッチングによるマイクロ円筒部品の製作

同步扫描投影曝光和化学蚀刻制造微圆柱零件

• 发表时间: 2016
• 作者: 伊藤海樹;鈴木佑汰;堀内敏行
• 通讯作者: 堀内敏行

Laser-Scan Lithography onto Ultra-Fine Pipes 100 μm in diameter

在直径 100 μm 的超细管道上进行激光扫描光刻

• DOI: 10.1117/12.2240158
• 发表时间: 2016
• 期刊: Proc. of SPIE
• 作者: Hiroshi Takahashi;Tomoya Sagara;and Toshiyuki Horiuchi
• 通讯作者: and Toshiyuki Horiuchi

小径管内面へのパターン形成と内面パターンの非破壊観察

小直径管内表面图案形成及内表面图案无损观察

• 发表时间: 2015
• 作者: 堀内敏行;木村のぞみ
• 通讯作者: 木村のぞみ

Fabrication of Cylindrical Micro-Parts Using Synchronous Scan-Projection Lithography and Chemical Etching

使用同步扫描投影光刻和化学蚀刻制造圆柱形微型零件

• 发表时间: 2017
• 作者: Kaiki Ito;Yuhta Suzuki;and Toshiyuki Horiuchi
• 通讯作者: and Toshiyuki Horiuchi

外径100μmのステンレス微細管へのマルチスリット形状電解エッチング

外径100μm不锈钢微管多狭缝形状电解蚀刻

• 发表时间: 2016
• 作者: 髙橋宏志;相良友也;堀内敏行
• 通讯作者: 堀内敏行