超小型超音波振動子によるマイクロマシン用高出力アクチュエータの研究
采用超小型超声波换能器的微机械大功率执行器研究
基本信息
- 批准号:11750177
- 负责人:
- 金额:$ 0.7万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
- 财政年份:1999
- 资助国家:日本
- 起止时间:1999 至 无数据
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
项目成果
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青柳 学
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