熱リソグラフィーの体験型学生実験とデバイス電極作製への応用
学生热光刻实践实验及其在器件电极制造中的应用
基本信息
- 批准号:22H04220
- 负责人:
- 金额:$ 0.31万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Encouragement of Scientists
- 财政年份:2022
- 资助国家:日本
- 起止时间:2022-04-01 至 2023-03-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
项目成果
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- 发表时间:
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- DOI:
- 发表时间:
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- 影响因子:0
- 作者:
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