六方晶窒化ホウ素単結晶中不純物が絶縁特性に及ぼす影響評価
六方氮化硼单晶中杂质对绝缘性能影响的评价
基本信息
- 批准号:22K14559
- 负责人:
- 金额:$ 2.91万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
- 财政年份:2022
- 资助国家:日本
- 起止时间:2022-04-01 至 2024-03-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
六方晶窒化窒化ホウ素(h-BN)中の不純物が耐電圧特性に及ぼす影響を評価するため、炭素アニール結晶及びアニールしていない結晶を使用し、粘着テープを用いたメカニカル劈開ほうによって薄膜化しSiO2基板上にh-BNフレークを作製した。それらのフレークを塩化ビニール(PVC)を用いてSIO2基板上の金属電極上に載せ、その後さらに金属電極を載せることによって上下の電極でh-BNを挟み込んだデバイスを作製し、室温及び極低温で測定を行った。炭素原子がドープされている場合とされていない場合において耐電圧曲線の振る舞いが変化することが確認できた。
为了评价六方氮化硼(h-BN)中的杂质对耐压特性的影响,使用碳退火晶体和未退火晶体,并使用胶带h通过机械劈裂将SiO2制成薄膜。 -BN 薄片在基材上制造。将这些薄片放置在使用氯乙烯 (PVC) 的 SIO2 基板上的金属电极上,然后将金属电极放置在顶部以创建一个装置,其中 h-BN 夹在上下电极之间。已证实耐压曲线的行为根据是否掺杂碳原子而变化。
项目成果
期刊论文数量(1)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
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