Surface processing method with localized surface excitation for thermall energy field using femto pulse train beam
使用毫微微脉冲序列束的热能场局部表面激励的表面处理方法
基本信息
- 批准号：26630028
- 负责人：
- 金额：$ 2.5万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
- 财政年份：2014
- 资助国家：日本
- 起止时间：2014-04-01 至 2016-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（8）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
Dynamics of spallation during femtosecond laser ablation studied by time-resolved reflectivity with double pump pulses
- DOI：10.1063/1.4939231
- 发表时间：2016-01
- 期刊：
- 影响因子：4
- 作者：T. Kumada;T. Otobe;M. Nishikino;N. Hasegawa;T. Hayashi
- 通讯作者：T. Kumada;T. Otobe;M. Nishikino;N. Hasegawa;T. Hayashi
フェムト秒レーザーを用いた半導体ウェハ表面のコヒーレントフォノン励起加工に関する研究（第2報）-加工エネルギー閾値の検討
利用飞秒激光对半导体晶片表面进行相干声子激发加工的研究（第二次报告）——加工能量阈值检验
- DOI：
- 发表时间：2015
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：T. Takaki;R. Rojas;M. Ohno;T. Shimokawabe;T. Aoki;林 照剛，横尾英昭，黒河周平，王 成武，松川洋二
- 通讯作者：林 照剛，横尾英昭，黒河周平，王 成武，松川洋二
フェムト秒レーザーを用いた半導体表面励起加工に関する研究
飞秒激光半导体表面激发加工研究
- DOI：
- 发表时间：2015
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：林 照剛;横尾英昭;王 成武;松川洋二;黒河周平
- 通讯作者：黒河周平
フェムト秒レーザーを用いた半導体ウェハ表面のコヒーレントフォノン励起加工に関する研究
飞秒激光器半导体晶片表面相干声子激发加工研究
- DOI：
- 发表时间：2016
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：R.Tanegashima;I.Ohara;H.Akebono;M.Kato;A.Sugeta;中西康雅;林 照剛，横尾英昭，黒河周平，松永啓伍，王 成武，松川洋二
- 通讯作者：林 照剛，横尾英昭，黒河周平，松永啓伍，王 成武，松川洋二
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Hayashi Terutake其他文献
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23K13825 - 财政年份：2023
- 资助金额：
$ 2.5万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
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- 资助金额：
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