In-process nano surface processing control by using time resolved coherent phonon excitation on semiconductor target with

通过在半导体靶上使用时间分辨相干声子激发进行过程中纳米表面加工控制

• 批准号: 25289017
• 负责人: Hayashi Terutake
• 金额: $ 11.98万
• 依托单位: Kyushu University (2014-2015)Osaka University (2013)
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2013
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2013-04-01 至 2016-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-25289017/
• 关键词: フェムト秒レーザー; 表面励起加工; コヒーレントフォノン; コヒーレント励起; インコヒーレント励起; アブレーション; パルストレイン; ダブルパルス; 表面励起; レーザー加工; ダメージレス加工; 表面加工; ナノ加工; レーザーアブレーション; パルストレインビーム; レーザーアブレ－ション

项目成果

フェムトパルストレインによるコヒーレントフォノン励起加工に関する研究(第二報) -コヒーレントフォノン励起状態の時間分解計測-

使用毫微微脉冲串进行相干声子激发处理的研究（第二份报告）-相干声子激发态的时间分辨测量-

• 发表时间: 2014
• 作者: 林 照剛;大菊崇弘;道畑正岐;高谷裕浩
• 通讯作者: 高谷裕浩

フェムト秒レーザーを用いた半導体ウェハ表面のコヒーレントフォノン励起加工に関する研究（第2報）-加工エネルギー閾値の検討

利用飞秒激光对半导体晶片表面进行相干声子激发加工的研究（第二次报告）——加工能量阈值检验

• 发表时间: 2015
• 作者: T. Takaki;R. Rojas;M. Ohno;T. Shimokawabe;T. Aoki;林 照剛，横尾英昭，黒河周平，王 成武，松川洋二
• 通讯作者: 林 照剛，横尾英昭，黒河周平，王 成武，松川洋二

フェムト秒レーザーを用いた半導体表面励起加工に関する研究

飞秒激光半导体表面激发加工研究

• 发表时间: 2015
• 作者: 林 照剛;横尾英昭;王 成武;松川洋二;黒河周平
• 通讯作者: 黒河周平

フェムト秒レーザーを用いた半導体ウェハ表面のコヒーレントフォノン励起加工に関する研究

飞秒激光器半导体晶片表面相干声子激发加工研究

• 发表时间: 2016
• 作者: R.Tanegashima;I.Ohara;H.Akebono;M.Kato;A.Sugeta;中西康雅;林 照剛，横尾英昭，黒河周平，松永啓伍，王 成武，松川洋二
• 通讯作者: 林 照剛，横尾英昭，黒河周平，松永啓伍，王 成武，松川洋二

レーザー加工装置

激光加工设备

• 发表时间: 2015