Challenging exploratory research on super resolution measurement of nano defects for next-generation functional fine structures by controlling dynamic localized light distribution

通过控制动态局部光分布对下一代功能精细结构纳米缺陷进行超分辨率测量的具有挑战性的探索性研究

基本信息

批准号：
26630018
负责人：
TAKAHASHI Satoru
金额：
$ 2.5万
依托单位：
The University of Tokyo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
财政年份：
2014
资助国家：
日本
起止时间：
2014-04-01 至 2015-03-31
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-26630018/
关键词：
欠陥計測ナノ欠陥光計測超解像計測加工計測局在光超解像

项目摘要

项目成果

期刊论文数量（10）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

Challenge of Spatial Resolution Improvement of Optical Measurement Method Based on Localized Light Energy

基于局域光能的光学测量方法空间分辨率提升的挑战

DOI：
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
0
作者：
Hiroki Yokozeki;Ryota Kudo;Satoru Takahashi;Kiyoshi Takamasu;S. Takahashi
通讯作者：
S. Takahashi

Lateral resolution improvement of laser-scanning imaging for nano defects detection

用于纳米缺陷检测的激光扫描成像的横向分辨率提高

DOI：
10.1515/aot-2014-0030
发表时间：
2014
期刊：
Advanced Optical Technologies
影响因子：
1.8
作者：
Hiroki Yokozeki;Ryota Kudo;Satoru Takahashi;Kiyoshi Takamasu
通讯作者：
Kiyoshi Takamasu

定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査（第18報）－コヒーレント結像逐次再構成型超解像による二次元超解像法のシミュレーションによる検討－

使用驻波位移的半导体晶片表面的超分辨率光学缺陷检查（第18次报告） - 通过使用相干成像顺序重建型超分辨率的二维超分辨率方法的模拟研究 -

DOI：
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
0
作者：
Hiroki Yokozeki;Ryota Kudo;Satoru Takahashi;Kiyoshi Takamasu;金成碩，久米大将，横関宏樹，高橋哲，高増潔;横関宏樹，久米大将，高橋哲，高増潔;久米大将，横関宏樹，高橋哲，高増潔;高橋哲;久米大将，横関宏樹，工藤良太，高橋哲，高増潔;横関宏樹，工藤良太，高橋哲，高増潔;工藤良太，高橋哲，高増潔
通讯作者：
工藤良太，高橋哲，高増潔

A novel dark field in-process optical inspection method for micro-openings on mirrored surfaces beyond the diffraction limit using active phase control

一种新型暗场过程中光学检测方法，用于使用主动相位控制来检测超出衍射极限的镜面微开口

DOI：
10.1016/j.cirp.2014.03.035
发表时间：
2014
期刊：
CIRP Annals - Manufacturing Technology
影响因子：
0
作者：
S. Takahashi;H. Yokozeki;D. Fujii;R. Kudo;K. Takamasu
通讯作者：
K. Takamasu

蛍光修飾を要さない回折限界超越観察技術の開発

开发不需要荧光修饰的衍射极限观察技术

DOI：
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
0
作者：
Hiroki Yokozeki;Ryota Kudo;Satoru Takahashi;Kiyoshi Takamasu;金成碩，久米大将，横関宏樹，高橋哲，高増潔;横関宏樹，久米大将，高橋哲，高増潔;久米大将，横関宏樹，高橋哲，高増潔;高橋哲
通讯作者：
高橋哲

DOI：
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作者：
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TAKAHASHI Satoru其他文献

Diameter Measurement of a Microsphere Based on Whispering Gallery Mode Resonance

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DOI：
10.2493/jjspe.84.77
发表时间：
2018
期刊：
Journal of the Japan Society for Precision Engineering
影响因子：
0
作者：
MICHIHATA Masaki;CHU Bohuai;ZHAO Zheng;HAYASHI Kohei;TAKAMASU Kiyoshi;TAKAHASHI Satoru
通讯作者：
TAKAHASHI Satoru

分子静力学法と線形弾性論に基づくBCC鉄中の照射欠陥の緩和体積の評価

基于分子静力学方法和线弹性理论评价BCC铁辐照缺陷弛豫体积

DOI：
发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
0
作者：
SATO Ryuta;WAKI Hiroyuki;ADACHI Kanta;KATO Masahiko;TAKAHASHI Satoru;阮　小勇，渡辺淑之，森下和功，野澤貴史
通讯作者：
阮　小勇，渡辺淑之，森下和功，野澤貴史

Bactericidal efficacies of food additive grade calcium hydroxide toward <i>Legionella pneumophila</i>

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DOI：
10.1292/jvms.19-0098
发表时间：
2019
期刊：
Journal of Veterinary Medical Science
影响因子：
1.2
作者：
ALAM Md. Shahin;TAKAHASHI Satoru;ITO Mariko;KOMURA Miyuki;KABIR Md. Humayun;SHOHAM Dany;SAKAI Kouji;SUZUKI Masato;TAKEHARA Kazuaki
通讯作者：
TAKEHARA Kazuaki

Fundamental study on micro-scaled additive manufacturing using optical potential induced by optical radiation pressure by Bessel beam

贝塞尔光束光辐射压诱导光势微尺度增材制造基础研究

DOI：
10.1299/transjsme.19-00244
发表时间：
2019
期刊：
Transactions of the JSME (in Japanese)
影响因子：
0
作者：
MICHIHATA Masaki;HAYASHI Masahiro;YOKEI Makoto;TAKAMASU Kiyoshi;TAKAHASHI Satoru
通讯作者：
TAKAHASHI Satoru