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High Sensitive Optical Detection of Nano Particulate Defects with Autonomous Search-and-Split Liquid Probe
使用自主搜索和分离液体探头对纳米颗粒缺陷进行高灵敏度光学检测
基本信息
- 批准号：15K13841
- 负责人：
- 金额：$ 2.5万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
- 财政年份：2015
- 资助国家：日本
- 起止时间：2015-04-01 至 2017-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（11）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究 (第6報) -数値流体力学を用いた液相プローブの挙動特性に関する解析-
利用自主缺陷搜索和分裂多探针的纳米异物检测研究（第六报告）-利用计算流体动力学分析液相探针的行为特征-
- DOI：
- 发表时间：2017
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Rajaei Nader;Hironaga Nomura;Shojiro Matsushita;Hiraku Komura;Masahiro Ohka and Tetsu Miyaoka;加藤崇平，大岡昌博;橘 一輝，浅井 祥平，道畑 正岐，高増 潔，高橋 哲;浅井 祥平，橘 一輝，道畑 正岐，高増 潔，高橋 哲
- 通讯作者：浅井 祥平，橘 一輝，道畑 正岐，高増 潔，高橋 哲
High-sensitive Optical Detection of Fine Particulate Defects by Autonomous Searching Liquid Probe: Observation on Dynamic Interacion with Defects
通过自主搜索液体探头对细颗粒缺陷进行高灵敏度光学检测：与缺陷动态相互作用的观察
- DOI：
- 发表时间：2016
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Kazuki Tachibana;Shohei Asai;Masaki Michihata;Kiyoshi Takamasu;Satoru Takahashi;橘一輝，浅井祥平，道畑正岐，高増潔，高橋哲;Kazuki Tachibana，Shohei Asai，Masaki Michihata，Kiyoshi Takamasu，Satoru Takahashi;Kazuki Tachibana; Shohei Asai; Masaki Michihata; Kiyoshi Takamasu; Satoru Takahashi
- 通讯作者：Kazuki Tachibana; Shohei Asai; Masaki Michihata; Kiyoshi Takamasu; Satoru Takahashi
自律的欠陥探索・分裂型マルチプローブによるナノ異物検出に関する研究（第4報）-液相プローブ高感度観察装置の検討-
利用自主缺陷搜索和分束多探头的纳米异物检测研究（第四次报告） - 高灵敏度液相探头观测设备的研究 -
- DOI：
- 发表时间：2016
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Kazuki Tachibana;Shohei Asai;Masaki Michihata;Kiyoshi Takamasu;Satoru Takahashi;橘一輝，浅井祥平，道畑正岐，高増潔，高橋哲
- 通讯作者：橘一輝，浅井祥平，道畑正岐，高増潔，高橋哲
High-sensitive optical measurement of fine particulate defects on Si wafer surface with liquid probe
液体探针高灵敏光学测量硅片表面细颗粒缺陷
- DOI：
- 发表时间：2015
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Kazuki Tachibana;Masaki Michihata;Satoru Takahashi;Kiyoshi Takamasu
- 通讯作者：Kiyoshi Takamasu
High-sensitive Optical Detection of Fine Particulate Defects by Autonomous Searching Liquid Probe: Observation of Dynamic Interaction with Defects
通过自主搜索液体探针对细颗粒缺陷进行高灵敏度光学检测：观察与缺陷的动态相互作用
- DOI：
- 发表时间：2016
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Kazuki Tachibana;Shohei Asai;Masaki Michihata;Kiyoshi Takamasu;Satoru Takahashi
- 通讯作者：Satoru Takahashi
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