Structural analysis and mechanical property evaluation of amorphous alloy films with nanoclusters of noble gas atom

稀有气体原子纳米团簇非晶合金薄膜的结构分析及力学性能评价

• 批准号: 19K05104
• 负责人: Kobata Junpei
• 金额: $ 2.83万
• 依托单位: Osaka Research Institute of Industrial Science and Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2019
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2019-04-01 至 2023-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-19K05104/
• 关键词: アンバランスドマグネトロンスパッタリング; 非晶質合金; 希ガス; ナノクラスター; イオン注入; X線吸収微細構造; 走査型透過電子顕微鏡; ナノインデンテーション; アンバランスドマグネトロンスパッタ; 金属ガラス; 金属ガラス膜; アルゴン; ナノクラスタ; X線吸収微細構造解析; UBMスパッタ法; Ar; UBMスパッタ; 微細組織観察; ナノインデンター; アンバランスドマグネトロンスパッタ法

项目成果

大阪産業技術研究所における研究紹介

大阪产业技术研究所的研究介绍

• 发表时间: 2020
• 期刊: 材料試験技術
• 作者: 小畠淳平;道山泰宏;横山雄二郎
• 通讯作者: 横山雄二郎

ナノインデンターによるAr 原子ナノクラスター含有Ti-Cu 基金属ガラス膜の機械的特性評価

利用纳米压痕仪评价含Ar原子纳米团簇Ti-Cu基金属玻璃薄膜的力学性能

• 发表时间: 2021
• 作者: 小畠淳平;道山泰宏;横山雄二郎;小畠淳平;小畠淳平;小畠淳平;小畠淳平;小畠淳平;小畠淳平
• 通讯作者: 小畠淳平

UBMスパッタ法で形成した金属ガラス膜の膜質に与える成膜ガス種の影響

沉积气体类型对UBM溅射金属玻璃薄膜膜质的影响

• 发表时间: 2023
• 作者: 小畠淳平;道山泰宏;横山雄二郎;小畠淳平;小畠淳平
• 通讯作者: 小畠淳平

金属ガラス膜中に異なる手法で導入したAr の存在状態

不同方法引入金属玻璃膜中Ar的存在状态

• 发表时间: 2023
• 作者: 小畠淳平;道山泰宏;横山雄二郎;小畠淳平
• 通讯作者: 小畠淳平

Arイオンクラスター含有金属ガラス膜の局所構造と微細組織の関係

含Ar离子簇金属玻璃膜局部结构与微观结构的关系

• 发表时间: 2021
• 作者: 小畠淳平;道山泰宏;横山雄二郎;小畠淳平;小畠淳平;小畠淳平;小畠淳平;小畠淳平
• 通讯作者: 小畠淳平