Three-dimensional distribution control of nitrogen atoms in dilute nitride films using atomic layer epitaxy
利用原子层外延控制稀氮化物薄膜中氮原子的三维分布
基本信息
- 批准号:20K05346
- 负责人:
- 金额:$ 2.83万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份:2020
- 资助国家:日本
- 起止时间:2020-04-01 至 2023-03-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
项目成果
期刊论文数量(3)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
原子層エピタキシー法を用いて意図的にNを制御したGaAsN膜中のN分布評価
使用原子层外延方法评估有意控制 N 的 GaAsN 薄膜中的 N 分布
- DOI:
- 发表时间:2022
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:高木 俊作;河野 将大;中島 凌;鈴木 秀俊
- 通讯作者:鈴木 秀俊
ALE法で意図的にN分布を変化させたGaAsN薄膜のアニール処理によるN分布と電気特性への影響
使用 ALE 方法对有意改变 N 分布的 GaAsN 薄膜进行退火对 N 分布和电性能的影响
- DOI:
- 发表时间:2021
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:中島 凌;河野 将大;峰松 遼;原口 智宏;鈴木 秀俊
- 通讯作者:鈴木 秀俊
ALE法で意図的にN分布を変化させたGaAsN薄膜のアニール処理によるN分布と電気特性への影響
使用 ALE 方法对有意改变 N 分布的 GaAsN 薄膜进行退火对 N 分布和电性能的影响
- DOI:
- 发表时间:2021
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:中島 凌;河野 将大;峰松 遼;原口 智宏;鈴木 秀俊
- 通讯作者:鈴木 秀俊
原子層エピタキシー法を用いて意図的にNを制御したGaAsN膜中のN分布評価
使用原子层外延方法评估有意控制 N 的 GaAsN 薄膜中的 N 分布
- DOI:
- 发表时间:2022
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:高木 俊作;河野 将大;中島 凌;鈴木 秀俊
- 通讯作者:鈴木 秀俊
原子層エピタキシー法を用いて意図的にNを制御したGaAsN膜中のN分布評価
使用原子层外延方法评估有意控制 N 的 GaAsN 薄膜中的 N 分布
- DOI:
- 发表时间:2022
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:高木 俊作;河野 将大;中島 凌;鈴木 秀俊
- 通讯作者:鈴木 秀俊
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- 影响因子:3.8
- 作者:
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Takahashi Tetsuya
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