Three-dimensional distribution control of nitrogen atoms in dilute nitride films using atomic layer epitaxy

利用原子层外延控制稀氮化物薄膜中氮原子的三维分布

基本信息

  • 批准号:
    20K05346
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 2.83万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 财政年份:
    2020
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2020-04-01 至 2023-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量(3)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
原子層エピタキシー法を用いて意図的にNを制御したGaAsN膜中のN分布評価
使用原子层外延方法评估有意控制 N 的 GaAsN 薄膜中的 N 分布
  • DOI:
  • 发表时间:
    2022
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    高木 俊作;河野 将大;中島 凌;鈴木 秀俊
  • 通讯作者:
    鈴木 秀俊
ALE法で意図的にN分布を変化させたGaAsN薄膜のアニール処理によるN分布と電気特性への影響
使用 ALE 方法对有意改变 N 分布的 GaAsN 薄膜进行退火对 N 分布和电性能的影响
  • DOI:
  • 发表时间:
    2021
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    中島 凌;河野 将大;峰松 遼;原口 智宏;鈴木 秀俊
  • 通讯作者:
    鈴木 秀俊
ALE法で意図的にN分布を変化させたGaAsN薄膜のアニール処理によるN分布と電気特性への影響
使用 ALE 方法对有意改变 N 分布的 GaAsN 薄膜进行退火对 N 分布和电性能的影响
  • DOI:
  • 发表时间:
    2021
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    中島 凌;河野 将大;峰松 遼;原口 智宏;鈴木 秀俊
  • 通讯作者:
    鈴木 秀俊
原子層エピタキシー法を用いて意図的にNを制御したGaAsN膜中のN分布評価
使用原子层外延方法评估有意控制 N 的 GaAsN 薄膜中的 N 分布
  • DOI:
  • 发表时间:
    2022
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    高木 俊作;河野 将大;中島 凌;鈴木 秀俊
  • 通讯作者:
    鈴木 秀俊
原子層エピタキシー法を用いて意図的にNを制御したGaAsN膜中のN分布評価
使用原子层外延方法评估有意控制 N 的 GaAsN 薄膜中的 N 分布
  • DOI:
  • 发表时间:
    2022
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    高木 俊作;河野 将大;中島 凌;鈴木 秀俊
  • 通讯作者:
    鈴木 秀俊
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  • 通讯作者:
    Takahashi Tetsuya

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