Low temperature bonding for integrated photonics application

集成光子学应用的低温键合

基本信息

  • 批准号：
    20H02207
  • 负责人：
    Takigawa Ryo
  • 金额：
    $ 11.15万
  • 依托单位：
    Kyushu University
  • 依托单位国家：
    日本
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 财政年份：
    2020
  • 资助国家：
    日本
  • 起止时间：
    2020-04-01 至 2023-03-31
  • 项目状态：
    已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量（17）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
Fabrication of heterogeneous LNOI photonics wafers through room temperature wafer bonding using activated Si atomic layer of LiNbO3, glass, and sapphire
使用 LiNbO3、玻璃和蓝宝石的活化硅原子层通过室温晶圆键合制造异质 LNOI 光子晶圆
  • DOI：
    10.1016/j.apsusc.2023.156666
  • 发表时间：
    2023
  • 期刊：
  • 影响因子：
    6.7
  • 作者：
    Watanabe Kaname;Takigawa Ryo
  • 通讯作者：
    Takigawa Ryo
常温ウエハ接合によりSi上に集積された低駆動電圧型LNOI光変調器
使用室温晶圆键合集成在 Si 上的低驱动电压 LNOI 光调制器
  • DOI：
  • 发表时间：
    2023
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    渡辺要;山口祐也;菅野敦史;多喜川良
  • 通讯作者：
    多喜川良
原子層堆積法で成膜した酸化アルミニウム極薄膜同士の常温接合
原子层沉积超薄氧化铝薄膜的室温键合
  • DOI：
  • 发表时间：
    2022
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    高倉亮;渡辺要;多喜川良
  • 通讯作者：
    多喜川良
Bonding of LiNbO3 and Si wafers at room temperature using Si nanolayers
使用 Si 纳米层在室温下键合 LiNbO3 和 Si 晶圆
  • DOI：
    10.35848/1347-4065/abf2d3
  • 发表时间：
    2021
  • 期刊：
  • 影响因子：
    1.5
  • 作者：
    Watanabe Kaname;Utsumi Jun;Takigawa Ryo
  • 通讯作者：
    Takigawa Ryo
Investigation of the interface between LiNbO3 and Si fabricated via room-temperature bonding method using activated Si nano layer
研究使用活化的硅纳米层通过室温键合方法制造的 LiNbO3 和 Si 之间的界面
  • DOI：
    10.35848/1347-4065/acc2cb
  • 发表时间：
    2023
  • 期刊：
  • 影响因子：
    1.5
  • 作者：
    Murakami Seigo;Watanabe Kaname;Takigawa Ryo
  • 通讯作者：
    Takigawa Ryo
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Takigawa Ryo其他文献

Surface activated bonding of aluminum oxide films at room temperature
室温下氧化铝薄膜的表面活化粘合
  • DOI：
    10.1016/j.scriptamat.2020.09.005
  • 发表时间：
    2021
  • 期刊：
  • 影响因子：
    6
  • 作者：
    Utsumi Jun;Takigawa Ryo
  • 通讯作者：
    Takigawa Ryo
Ultrathin adhesive layer between LiNbO3 and SiO2 for bonded LNOI waveguide applications
LiNbO3 和 SiO2 之间的超薄粘合层，用于粘合 LNOI 波导应用
  • DOI：
    10.7567/1347-4065/ab24b6
  • 发表时间：
    2019
  • 期刊：
  • 影响因子：
    1.5
  • 作者：
    Takigawa Ryo;Higurashi Eiji;Asano Tanemasa
  • 通讯作者：
    Asano Tanemasa
Fabrication of heterogeneous LNOI photonics wafers through room temperature wafer bonding using activated Si atomic layer of LiNbO3, glass, and sapphire
使用 LiNbO3、玻璃和蓝宝石的活化硅原子层通过室温晶圆键合制造异质 LNOI 光子晶圆
  • DOI：
    10.1016/j.apsusc.2023.156666
  • 发表时间：
    2023
  • 期刊：
  • 影响因子：
    6.7
  • 作者：
    Watanabe Kaname;Takigawa Ryo
  • 通讯作者：
    Takigawa Ryo
Development of a microfluidic-based taste sensor using lipid polymer membrane
使用脂质聚合物膜开发基于微流体的味觉传感器
  • DOI：
    10.35848/1347-4065/acb4fa
  • 发表时间：
    2023
  • 期刊：
  • 影响因子：
    1.5
  • 作者：
    Tahara Yusuke;Sassa Fumihiro;Takigawa Ryo;Kurihara Yuma
  • 通讯作者：
    Kurihara Yuma
Investigation of the interface between LiNbO3 and Si fabricated via room-temperature bonding method using activated Si nano layer
研究使用活化的硅纳米层通过室温键合方法制造的 LiNbO3 和 Si 之间的界面
  • DOI：
    10.35848/1347-4065/acc2cb
  • 发表时间：
    2023
  • 期刊：
  • 影响因子：
    1.5
  • 作者：
    Murakami Seigo;Watanabe Kaname;Takigawa Ryo
  • 通讯作者：
    Takigawa Ryo

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    $ 11.15万
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  • 资助金额：
    $ 11.15万
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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