A device for identifying nanometer-order foreign objects and its materials on silicon wafers
一种硅片上纳米级异物及其材质识别装置
基本信息
- 批准号：20K20955
- 负责人：
- 金额：$ 3.33万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
- 财政年份：2020
- 资助国家：日本
- 起止时间：2020-07-30 至 2023-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（1）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
散乱光強度を用いたサブミクロン粒子の粒径と屈折率の同時測定
利用散射光强度同时测量亚微米颗粒的粒径和折射率
- DOI：
- 发表时间：2022
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：ウーガンバヤル ナムーン;神藤 慎弥;石井 陽祐;川崎 晋司;木越綾香，大津晴登，齋藤遼太，ゴンザレス・ファン，荒木幹也
- 通讯作者：木越綾香，大津晴登，齋藤遼太，ゴンザレス・ファン，荒木幹也
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Investigation of acoustic radiation from a 1000 m/s class jet moving at a high speed in stationary ambient
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- 批准号：
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- 资助金额：
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- 资助金额：34.0 万元
- 项目类别：面上项目
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- 资助金额：
$ 3.33万 - 项目类别：
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10633345 - 财政年份：2023
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$ 3.33万 - 项目类别：
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10554097 - 财政年份：2022
- 资助金额：
$ 3.33万 - 项目类别：
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- 批准号：
10778190 - 财政年份：2022
- 资助金额：
$ 3.33万 - 项目类别：