Substratgebundene Nanostrukturen durch Diffraktionsmaskenprojektions-Laserablation

通过衍射掩模投影激光烧蚀实现基底结合的纳米结构

• 批准号: 28791981
• 负责人: Professor Dr. Thomas Höche
• 金额: --
• 依托单位: Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V. (IOM)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Units
• 财政年份: 2006
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2005-12-31 至 2009-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/28791981?language=en
• 关键词: Substratgebundene; Nanostrukturen; durch; Diffraktionsmaskenprojektions; Laserablation

Substratgebundene Nanostrukturen können aus dünnen Schichten mittels Diffraktionsmaskenprojektions-Laserablation hergestellt werden. Durch eine geeignete Kombination von Maskengeometrie, Verkleinerungsmaßstab des Reflexionsobjektivs, Wellenlänge der eingesetzten Laserstrahlung und Zahl applizierter Pulse sind dabei Strukturbreite, Anordnung und Abstand der Nanostrukturen kontrollierbar. So können sowohl parallele Wallstrukturen (mittels Streifenmaske) als auch Punktstrukturen (durch sequentielle Bearbeitung mit Streifenmasken unterschiedlicher Ausrichtung respektive Einsatz einer Schachbrettmaske) erhalten werden. Die kristallographische Orientierung ist hierbei im Gegensatz zur Züchtung von Nanostrukturen in der Substratebene frei wählbar. Es werden einerseits einkristalline Dünnfilme aus GaN - MnSiN2, (dotiertem) ZnO sowie Halbleiterheteroschichten nanostrukturiert. Andererseits werden Arrays nanoskaliger Metall-Punkte auf verschiedenen Substraten durch Diffraktionsmaskenprojektions-Laserablation generiert. Diese Metall-Punktstrukturen werden innerhalb der Forschergruppe als Template für andere Teilprojekte zur Verfügung gestellt. Die Charakterisierung der erhaltenen Nanostrukturen wird mittels Raster- und Transmissionselektronenmikroskopie sowie Rasterkraftmikroskopie erfolgen. Ausgewählte physikalische Eigenschaften (elektrischer Widerstand, Lumineszenz, etc.) dieser Nanostrukturen werden innerhalb der Forschergruppe untersucht.

Substratgebundene Nanostrukturen können aus dünnen Schichten mittels Diffraktionsmaskenprojektions-Laserablation hergestellt werden。脉冲应用程序主要用于结构、纳米结构控制杆的调节和控制。水晶印刷方向是在 der Substratebene frei wählbar 中对纳米结构进行设计的。 Andererseits werden Arrays nanoskaliger Metall-Punkte auf verschiedenen Substraten durch maskenprojektions-Laserablation Generiert。 Verfügung gestellt。 Innerhalb der Forschergruppe undersucht。