Dynamik von durch Ionenbeschuss erzeugten Nanostrukturen an Oberflächen

离子轰击表面纳米结构的动力学

• 批准号: 192642089
• 负责人: Professor Dr. Hubert Gnaser
• 金额: --
• 依托单位: Fachbereich Physik
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2011
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2010-12-31 至 2015-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/192642089?language=en
• 关键词: Dynamik; von; durch; Ionenbeschuss; erzeugten

Beim Beschuss von Festkörpern mit Ionenstrahlen entstehen an der Oberfläche häufig periodisch modulierte, nanoskalige Strukturen, d.h. eine lateral korrelierte Ordnung. Bei Erreichen eines Gleichgewichtszustandes können sich dabei (hexagonal) geordnete Nanopunkte bilden, oder es kann eine wellenförmige Oberflächenmorphologie („Ripple“) entstehen, häufig mit Größen von <100 nm. Es wird vermutet, dass diese Strukturen aus dem konkurrierenden Auftreten aufrauender und glättender Prozesse an der Oberfläche während der Ionenbestrahlung resultieren. Die Entstehung und die zeitliche und räumliche Dynamik dieser Morphologie soll in diesem Vorhaben als Funktion der Ionenfluenz quantitativ untersucht werden. Dabei sollen für verschiedene Probenmaterialien (Metalle, Halbleiter und Oxide) und Beschussparameter (Art der Ionen, Energie und Auftreffwinkel auf der Oberfläche, Ionenfluss und Probentemperatur) die Entstehung und Entwicklung solcher Nanostrukturen in situ mittels Rasterelektronen- bzw. Rastertunnel-Mikroskopie bestimmt und mit theoretischen Modellen korreliert werden.

Beim Beschuss von Festkörpern mit Ionenstrahlen entstehen an der Oberfläche häufig periodisch modulierte, nanoskalige Strukturen, d.h. bilden, oder es kann eine wellenförmige Oberflächenmorphologie (“Ripple”) entstehen, häufig mit Größen von <100 nm。离子流定量的理解。 （Art der Ionen、Energie und Auftreffwinkel auf der Oberfläche、Ionenfluss und Probentemperatur）die Entstehung und Entwicklung solcher Nanostrukturen in situ mittels Rasterelektronen- bzw。

项目成果

Nanocone formation on ion-bombarded InP surfaces

离子轰击 InP 表面上的纳米锥形成

• DOI: 10.1016/j.apsusc.2015.07.156
• 发表时间: 2015
• 期刊: Applied Surface Science
• 影响因子: 6.7
• 作者: D. Kramczynski;H. Gnaser
• 通讯作者: H. Gnaser

Propagation of nanoscale ripples on ion-irradiated surfaces

• DOI: 10.1016/j.nimb.2012.05.028
• 发表时间: 2012-08
• 期刊: Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B-beam Interactions With Materials and Atoms
• 影响因子: 1.3
• 作者: H. Gnaser;B. Reuscher;A. Zeuner

Characterization of ion-irradiation-induced nanodot structures on InP surfaces by atom probe tomography.

通过原子探针断层扫描表征 InP 表面离子辐照诱导的纳米点结构

• DOI: 10.1016/j.ultramic.2015.04.020
• 发表时间: 2015
• 期刊: Ultramicroscopy
• 影响因子: 2.2
• 作者: H. Gnaser;T. Radny
• 通讯作者: T. Radny

Atomic relocation in ion-bombarded ultra-thin films analyzed with sub-nm spatial resolution

以亚纳米空间分辨率分析离子轰击超薄膜中的原子重定位

• DOI: 10.1016/j.nimb.2013.04.013
• 发表时间: 2013
• 期刊: Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B-beam Interactions With Materials and Atoms
• 影响因子: 1.3
• 作者: H. Gnaser;R. Schiller;M. Wahl;B. Reuscher
• 通讯作者: B. Reuscher

Wavelength-dependent ripple propagation on ion-irradiated prepatterned surfaces driven by viscous flow corroborates two-field continuum model

• DOI: 10.1103/physrevb.89.205422
• 发表时间: 2014-05-20
• 期刊: PHYSICAL REVIEW B
• 影响因子: 3.7
• 作者: Kramczynski, Detlef;Reuscher, Bernhard;Gnaser, Hubert
• 通讯作者: Gnaser, Hubert