Multispektrales abbildendes Ellipsometer mit integriertem Rasterkraftmikroskop

集成原子力显微镜的多光谱成像椭偏仪

• 批准号: 274136846
• 金额: --
• 依托单位: Hochschule für angewandte Wissenschaft und Kunst Hildesheim/Holzminden/Göttingen
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Major Research Instrumentation
• 财政年份: 2015
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2014-12-31 至 无数据
• 项目状态: 未结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/274136846?language=en
• 关键词: Multispektrales; abbildendes; Ellipsometer; mit; integriertem

Der überwiegende Forschungsanteil ist auf die Plasma,- sowie die Laser-Plasma-Hybridtechnologie, hier im speziellen Oberflächenmodifikationen, ausgerichtet. Grundsätzlich dient das Großgerät der Untersuchung sowie der Aufklärung von Wechselwirkungsmechanismen unterschiedlicher Atmosphärendruckplasmen, sowie von Laser-Plasma-Hybridprozessen mit Festkörpern (z.B. Gläsern, Keramiken, Metallen, Halbleitern). Ein entscheidendes Kriterium für die Auswahl der Ellipsometrie als Analyseverfahren für plasmamodifizierte Oberflächen ist, dass das Messprinzip die berührungslose optische Bestimmung von Materialeigenschaften an Grenzflächen, Oberflächen sowie von Schichtsystemen mit einer Dickenauflösung im nm-Bereich unter Normaldruck erlaubt. Vorteilhaft wirkt sich hierbei aus, dass der Analysebereich der Ellipsometrie, sowie des integrierten Rasterkraftmikroskops und die Wechselwirkungsbereiche von Atmosphärendruckplasmen mit Materialoberflächen (einige 10 nm in die Oberfläche hinein) nahezu identisch sind.

Der überwiegende Forschungsanteil ist auf die Plasma，- sowie die Laser-Plasma-Hybridtechnologie，hier im speziellen Oberflächenmodifikationen，ausgerichtet。 Wechselwirkungsmechanismen unterschiedlicher Atmosphärendruckplasmen, sowie von Laser-Plasma-Hybridprozessen mit Festkörpern (z.B. Gläsern, Keramiken, Metallen, Halbleitern)。 Oberflächen ist，dass das Messprinzip die berührungslose optische von Materialeigenschaften an Grenzflächen，Oberflächen sowie von Schichtsystemen mit einer Dickenauflösung im nm-Bereich unter Normaldruck erlaubt sich。 Atmosphärendruckplasmen mit Materialoberflächen（在die Oberfläche hinein 中的einige 10 nm）nahezu identisch sind。

项目成果

Impact of the Polishing Suspension Concentration on Laser Damage of Classically Manufactured and Plasma Post-Processed Zinc Crown Glass Surfaces

• DOI: 10.3390/app8091556
• 发表时间: 2018-09-01
• 期刊: APPLIED SCIENCES-BASEL
• 影响因子: 2.7
• 作者: Gerhard, Christoph;Stappenbeck, Marco
• 通讯作者: Stappenbeck, Marco

Topographic, optical and chemical properties of zinc particle coatings deposited by means of atmospheric pressure plasma

• DOI: 10.1016/j.apsusc.2017.03.021
• 发表时间: 2017-07
• 期刊: Applied Surface Science
• 影响因子: 6.7
• 作者: L. Wallenhorst;L. Loewenthal;G. Avramidis;C. Gerhard;H. Militz;G. Ohms;W. Viöl