Dreidimensionale elektrische Antastung für die Mikro- und Nanokoordinatenmesstechnik - 3-D-Tunnelstromtaster

三维电学探测微纳坐标测量技术——3维隧道电流探头

• 批准号: 221143864
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Tino Hausotte
• 金额: --
• 依托单位: Lehrstuhl für Fertigungsmesstechnik
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2012
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2011-12-31 至 2015-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/221143864?language=en
• 关键词: Dreidimensionale; elektrische; Antastung; die; Mikro

Die messtechnische Erfassung von Bauteilen der Mikrosystemtechnik und Komponenten mit Mikrostrukturen erfordert Nanometer-aufgelöste 3-D-fähige Messverfahren. Optische Systeme zeigen beugungsbedingt und bei hohen Aspektverhältnissen Einschränkungen. Mikrotaktile Verfahren weisen Defizite bei Auflösung, Messgeschwindigkeit und Tastersteifigkeit auf. Ziel des Forschungsvorhabens ist ein universell einsetzbares, aktives Messsystem mit 3-D-richtungssensitivem und berührungsfreiem Antastverhalten bei Subnanometer-Auflösung, welches mit elektrischer Wechselwirkung im Nahfeldbereich arbeitet. Die Bestimmung des 3-D-Antastvektors ist für Freiformscans und eine aktive Sensornachführung erforderlich und soll mittels mechanischer Modulation erfolgen. Die aktive Sensornachführung dient zur Steigerung der Systemdynamik. Das fundierte Verständnis der Wechselwirkung und der erfassten elektrischen Oberfläche soll durch mathematisch-physikalische Modellierung und über eine simulationsgestützte experimentelle Systemanalyse erlangt werden. Eine antastrichtungsabhängige Formabweichungskorrektur der sphärischen Sonden soll zur Erhöhung der Genauigkeit bei den miniaturisierten Sonden dienen. Modellunterstützt erfolgen eine messtechnische Charakterisierung und eine Unsicherheitsermittlung. Experimentelle Vergleiche mit anderen Antastverfahren der Mikro- und Nanomesstechnik an Demonstratorbauteilen sollen die erzielten Ergebnisse verifizieren.

微旋转瓷砖。 Verfahren weisen Defizite bei Auflösung、Messgeschwindigkeit 和 Tastersteifigkeit auf。 3-D-Antastvektors 的最佳效果是用于自由形式扫描和有效的传感器控制以及机械调制的全部功能。系统动力学。模型设计是一种机械特性和非安全性的解决方案。请务必验证。

项目成果

Micro- and nanocoordinate measurements of micro-parts with 3-D tunnelling current probing

使用 3D 隧道电流探测对微型零件进行微米和纳米坐标测量

• DOI: 10.5194/jsss-4-199-2015
• 发表时间: 2015
• 期刊: Journal of Sensors and Sensor Systems
• 影响因子: 1
• 作者: Schuler;Hausotte
• 通讯作者: Hausotte

Development of a 3D Tunneling Current Probing System for Micro- and Nano-Coordinate Metrology

开发用于微纳坐标计量的 3D 隧道电流探测系统

• DOI: 10.4028/www.scientific.net/amm.870.126
• 发表时间: 2017
• 期刊: Applied Mechanics and Materials
• 作者: Zhong Yuan;Schuler;Alexander;Hausotte
• 通讯作者: Hausotte