低气压多频等离子体与材料表面相互作用

结题报告
项目介绍
AI项目解读

基本信息

  • 批准号：
    10635010
  • 项目类别：
    重点项目
  • 资助金额：
    220.0万
  • 负责人：
    王友年
  • 依托单位：
    大连理工大学
  • 学科分类：
    A2901.等离子体基本过程与特性
  • 结题年份：
    2010
  • 批准年份：
    2006
  • 项目状态：
    已结题
  • 起止时间：
    2007-01-01 至2010-12-31

项目摘要

针对双频电容耦合、电感/电容耦合以及微波ECR/电容耦合等放电方式，研究低气压等离子体的产生机理及约束方法；分别采用探针、光谱、质谱等实验诊断手段和计算模拟方法研究不同电源的频率及功率的匹配方式对等离子体参数（等离子体密度、电子温度等）及化学活性粒子种类，以及入射到基片表面上离子能量和角度分布的影响，其中重点研究低频电源对等离子体状态参数及鞘层特性的调制行为；建立这种放电等离子体与基片表面相互作用的物理模型，研究频率及功率的匹配效应对刻蚀率、刻蚀剖面及介质薄膜特性的影响，为双频等离子体刻蚀和薄膜制备工艺的参数优化提供必要的科学依据。

结项摘要

项目成果

期刊论文数量（61）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（8）
专利数量（0）
Heating mechanisms and particle flow balancing of capacitively coupled plasmas driven by combined dc/rf sources
由组合直流/射频源驱动的电容耦合等离子体的加热机制和粒子流平衡
  • DOI：
    10.1063/1.2888516
  • 发表时间：
    2008-03-01
  • 期刊：
    PHYSICS OF PLASMAS
  • 影响因子：
    2.2
  • 作者：
    Jiang, Wei;Xu, Xiang;Wang, You-Nian
  • 通讯作者：
    Wang, You-Nian
Modulating effects of the low-frequency source on ion energy distributions in a dual frequency capacitively coupled plasma
低频源对双频电容耦合等离子体中离子能量分布的调制效应
  • DOI：
    10.1063/1.2945890
  • 发表时间：
    2008-07
  • 期刊：
    Applied Physics Letters
  • 影响因子：
    4
  • 作者：
    Chang, Da-Lei;Xu, Yong;Li, Xiao-Song;Li, Zhi-Cheng;Zhu, Ai-Min;Xu, Xiang;Lu, Wen-Qi;Wang, You-Nian;Wang, Shuai;Bi, Zhen-Hua
  • 通讯作者：
    Bi, Zhen-Hua
Influence of the low-frequency source parameters on the plasma characteristics in a dual frequency capacitively coupled plasma reactor: Two dimensional simulations
双频电容耦合等离子体反应器中低频源参数对等离子体特性的影响：二维模拟
  • DOI：
    10.1016/j.pnsc.2008.08.010
  • 发表时间：
    2009-06
  • 期刊：
    Progress in Natural Science
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    Hao Ge;Aimin Zhu;Shuai Wang;Younian Wang;Zhongling Dai;Xiang Xu
  • 通讯作者：
    Xiang Xu
Experimental investigation of ion energy distributions in a dual frequency capacitively coupled Ar/CF4 plasma
双频电容耦合 Ar/CF4 等离子体中离子能量分布的实验研究
  • DOI：
    10.1063/1.3304186
  • 发表时间：
    2010-03
  • 期刊：
    PHYSICS OF PLASMAS
  • 影响因子：
    2.2
  • 作者：
    Zhen-Hua Bi;Ai-Min Zhu;Zhi-Cheng Li;Xiao-Song Li;Da-Lei Chang;You-Nian Wang;Yong Xu;Wen-Qi Lu
  • 通讯作者：
    Wen-Qi Lu
60MHz 电容耦合等离子体中电子能量分布函数特性研究
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    物 理 学 报
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    黄晓江;宁兆元;袁强华;孙　恺;辛　煜­
  • 通讯作者：
    辛　煜­

数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI：
    {{ item.doi || "--"}}
  • 发表时间：
    {{ item.publish_year || "--" }}
  • 期刊：
    {{ item.journal_name }}
  • 影响因子：
    {{ item.factor || "--"}}
  • 作者：
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}

数据更新时间：{{ monograph.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}

数据更新时间：{{ sciAawards.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}

数据更新时间：{{ conferencePapers.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}

数据更新时间：{{ patent.updateTime }}

其他文献

Equivalent circuit effects on mode transitions in H2 inductively coupled plasmas
H2 电感耦合等离子体中模式转换的等效电路效应
  • DOI：
    10.1063/1.4917335
  • 发表时间：
    2015-04
  • 期刊：
    Physics of Plasmas
  • 影响因子：
    2.2
  • 作者：
    张钰如;高飞;李学春;王友年
  • 通讯作者：
    王友年
相位角对容性耦合电非对称放电特性的影响
  • DOI：
    10.7498/aps.67.20181400
  • 发表时间：
    2018
  • 期刊：
    物理学报
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    胡艳婷;张钰如;宋远红;王友年
  • 通讯作者：
    王友年
Self-pinched ion beam transport in plasmas with finite radius and nonuniform transverse density
有限半径和非均匀横向密度等离子体中的自箍缩离子束传输
  • DOI：
    10.1088/0741-3335/57/9/095003
  • 发表时间：
    2015-07
  • 期刊：
    Plasma Physics and Controlled Fusion
  • 影响因子：
    2.2
  • 作者：
    胡章虎;王友年
  • 通讯作者：
    王友年
能量输运对柱状等离子体开关磁场
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    强激光与粒子束18卷，第3期，410-414（2006）
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    徐翔;王友年
  • 通讯作者：
    王友年
大块金属玻璃Al7.5Cu17.8Ni10.7Zr64的耐Ar2+离子辐照性能研究
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    2015
  • 期刊：
    原子核物理评论
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    张小楠;梅显秀;马雪;王友年
  • 通讯作者：
    王友年

其他文献

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI：
    {{ item.doi || "--" }}
  • 发表时间：
    {{ item.publish_year || "--"}}
  • 期刊：
    {{ item.journal_name }}
  • 影响因子：
    {{ item.factor || "--" }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者：
    {{ item.author }}
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王友年的其他基金

面向工业等离子体源的一些关键科学问题的研究
  • 批准号：
    11935005
  • 批准年份：
    2019
  • 资助金额：
    340 万元
  • 项目类别：
    重点项目
甚高频放电下大面积容性耦合等离子体的电磁效应
  • 批准号：
    11335004
  • 批准年份：
    2013
  • 资助金额：
    360.0 万元
  • 项目类别：
    重点项目
射频感应耦合等离子体中放电模式转换机理的研究
  • 批准号：
    11075029
  • 批准年份：
    2010
  • 资助金额：
    48.0 万元
  • 项目类别：
    面上项目
等离子体断路开关的磁流体动力学数值模拟
  • 批准号：
    10376003
  • 批准年份：
    2003
  • 资助金额：
    22.0 万元
  • 项目类别：
    联合基金项目
荷能离子团与固体材料互作用的自洽理论研究
  • 批准号：
    10275009
  • 批准年份：
    2002
  • 资助金额：
    20.0 万元
  • 项目类别：
    面上项目
等离子体刻蚀过程的计算机模拟
  • 批准号：
    19975008
  • 批准年份：
    1999
  • 资助金额：
    11.0 万元
  • 项目类别：
    面上项目
分子离子在固体材料中能量损失的理论研究
  • 批准号：
    19575008
  • 批准年份：
    1995
  • 资助金额：
    8.0 万元
  • 项目类别：
    面上项目

相似国自然基金

{{ item.name }}
  • 批准号：
    {{ item.ratify_no }}
  • 批准年份：
    {{ item.approval_year }}
  • 资助金额：
    {{ item.support_num }}
  • 项目类别：
    {{ item.project_type }}

相似海外基金

{{ item.name }}
{{ item.translate_name }}
  • 批准号：
    {{ item.ratify_no }}
  • 财政年份：
    {{ item.approval_year }}
  • 资助金额：
    {{ item.support_num }}
  • 项目类别：
    {{ item.project_type }}
{{ showInfoDetail.title }}

作者：{{ showInfoDetail.author }}

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课题项目：调控A型流感病毒诱导IFN-β表达的机制研究

AI项目摘要：

本研究聚焦于TRIM2蛋白在A型流感病毒诱导的IFN-β表达中的调控机制。A型流感病毒是全球性健康问题，其感染可导致严重的呼吸道疾病。IFN-β作为关键的抗病毒因子，其表达水平对抗病毒防御至关重要。然而，TRIM2如何调控IFN-β的表达尚未明确。本研究假设TRIM2通过与病毒RNA或宿主因子相互作用，影响IFN-β的产生。我们将采用分子生物学、细胞生物学和免疫学方法，探索TRIM2与A型流感病毒诱导IFN-β表达的关系。预期结果将揭示TRIM2在抗病毒免疫反应中的作用，为开发新的抗病毒策略提供理论基础。该研究对理解宿主抗病毒机制具有重要科学意义，并可能对临床治疗流感病毒感染提供新的视角。

AI项目思路：

科学问题：TRIM2如何调控A型流感病毒诱导的IFN-β表达？
前期研究：已有研究表明TRIM2参与抗病毒反应，但其具体机制尚不明确。
研究创新点：本研究将深入探讨TRIM2在IFN-β表达中的直接作用机制。
技术路线：包括病毒学、分子生物学、细胞培养和免疫检测技术。
关键技术：TRIM2与病毒RNA的相互作用分析，IFN-β启动子活性检测。
实验模型：使用A型流感病毒感染的细胞模型进行研究。

AI技术路线图

        graph TD
          A[研究起始] --> B[文献回顾与假设提出]
          B --> C[实验设计与方法学准备]
          C --> D[A型流感病毒感染模型建立]
          D --> E[TRIM2与病毒RNA相互作用分析]
          E --> F[TRIM2对IFN-β启动子活性的影响]
          F --> G[IFN-β表达水平测定]
          G --> H[TRIM2功能丧失与获得研究]
          H --> I[数据收集与分析]
          I --> J[结果解释与科学验证]
          J --> K[研究结论与未来方向]
          K --> L[研究结束]
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