半导体微器件和纳米材料性能参数的拉曼光谱测定
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:69876001
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:14.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:F0402.集成电路设计
- 结题年份:2001
- 批准年份:1998
- 项目状态:已结题
- 起止时间:1999-01-01 至2001-12-31
- 项目参与者:高玉芝;
- 关键词:
项目摘要
用显微拉曼光谱技术,测量半导体微器件中掺杂注入浓度,缺陷损伤和应力等参数在微米尺度上的三维分布,以及确定低维纳米材料的本征拉曼谱及其与材料特性的关系;并进行高效廉价和使用方便的拉曼谱仪的原型机研究。
结项摘要
项目成果
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- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:科学通报
- 影响因子:--
- 作者:阎研;黄福敏;张树霖;朱邦芬;尚尔轶;范守善
- 通讯作者:范守善
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