碱性CMP工艺下新型三唑类化合物的聚集行为、浓度极值本质和缓蚀作用机制研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:52271061
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:54.00万
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- 结题年份:
- 批准年份:2022
- 项目状态:未结题
- 起止时间:2022 至
- 项目参与者:张大全;
- 关键词:
项目摘要
结项摘要
项目成果
期刊论文数量(4)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
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