基于部分相干理论的极紫外光刻掩模相位型缺陷三维形貌检测方法
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:62374167
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:55.00万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:
- 结题年份:
- 批准年份:2023
- 项目状态:未结题
- 起止时间:2023 至
- 项目参与者:李思坤;
- 关键词:
项目摘要
结项摘要
项目成果
期刊论文数量(5)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
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- 通讯作者:王向朝
其他文献
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