有机复合薄膜激光感应电导和微图形制备研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:69578019
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:9.5万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:F0506.激光
- 结题年份:1998
- 批准年份:1995
- 项目状态:已结题
- 起止时间:1996-01-01 至1998-12-31
- 项目参与者:H; 毕兆琪; 郭红; 李运钧; 赵刚; 耿红;
- 关键词:
项目摘要
采用有空蒸发及脉冲激光沉积制备出了银一聚酰亚胺复合薄膜,利用Q开关YAG激光器四次谐波对该复合薄膜进行了激光感应导电实验。使该复合薄膜的永久电导率由10(-17)Ω(-1)cm(-1)提高到1-10Ω(-1)cm(-1),提高了17个数量级,以此为基底,利用脉冲电镀涂敷技术,进一步将永久电导率提高到10(4)-10(5)Ω(-1)cm(-1),相当于铜的电导率.并实现了100mm线宽的微图形制备。利用逾渗理论及计算机模拟,研究了聚酰亚胺薄膜及其复合薄膜的激光感应导电机理,首次利用计算模拟预示出该薄膜材料在激光感应导电相变阈值附近,其介电系数有4-5倍增大,此外,还首次利用聚酰亚胺复合薄膜进行了场电子发射实验,发现它可作为一种新型冷阴极发射材料。上述一些研究工作在微电子工业领域有着应用前景。
结项摘要
项目成果
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