千、兆赫兹双频超声诱导声空化-声流促进单晶SiC形性效协同化学机械抛光基础研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:52375470
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:50万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:E.工程与材料科学部
- 结题年份:
- 批准年份:2023
- 项目状态:未结题
- 起止时间:2023至
- 项目参与者:叶林征;
- 关键词:
项目摘要
结项摘要
项目成果
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- 通讯作者:叶林征
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- DOI:--
- 发表时间:2015
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- 影响因子:--
- 作者:叶林征;祝锡晶;郭策
- 通讯作者:郭策
其他文献
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