第三代半导体晶圆衬底超精密加工非晶损伤层厚度高精度无损测量和表征
项目介绍
AI项目解读
基本信息
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- 项目类别:面上项目
- 资助金额:54万
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- 结题年份:
- 批准年份:2022
- 项目状态:未结题
- 起止时间:2022至
- 项目参与者:崔长彩;
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