硅衬底AlGaN基深紫外光电子材料外延生长研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
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- 项目类别:面上项目
- 资助金额:59万
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- 依托单位:
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- 批准年份:2022
- 项目状态:未结题
- 起止时间:2022至
- 项目参与者:孙钱;
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