面向亚3纳米技术节点的晶体管超薄栅叠层结构与性能的原位研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:12234005
- 项目类别:重点项目
- 资助金额:300万
- 负责人:
- 依托单位:
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- 结题年份:
- 批准年份:2022
- 项目状态:未结题
- 起止时间:2022至
- 项目参与者:孙立涛;
- 关键词:
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项目成果
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